半導體薄膜製程
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〈工業技術與資訊〉先進半導體薄膜設備智慧製程技術
https://m.cnyes.com
半導體是臺灣在全球高科技版圖的代名詞，而半導體的薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上 ...
先進半導體沉積和蝕刻設備技術發展與產業觀察
https://www.materialsnet.com.t
薄膜製程是在高真空的腔體中、將欲沉積的材料加熱並通入，使此氣體附著於基板上形成一層薄膜，過程中再經由微調腔體溫度、壓力、電場/磁場、電漿 ...
先進半導體薄膜設備智慧製程技術
https://www.itri.org.tw
半導體是臺灣在全球高科技版圖的代名詞，而半導體的薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上 ...
半導體製程(二)
https://www.macsayssd.com
鋪字訣的目的是在晶圓上鋪上一層薄膜。依照不同用途，這層薄膜可以是二氧化矽、氮化矽、多晶矽等絕緣體，也可以是金屬。下面舉例幾個常用的製程。 ... 把晶圓放入烤爐，並通 ...
我們的製程
https://www.lamresearch.com
我們領先市場的完備產品組合，包括薄膜沉積、電漿蝕刻、光阻去除和晶圓清洗等，是相輔相成的製程步驟，會被應用於整個半導體製造過程中。為了支援先進製程的監測和控制關鍵 ...
脈衝離散注入法及原子層沉積技術之半導體薄膜製程應用
https://www.automan.tw
摘要：半導體製程朝向微小線寬發展，使薄膜沉積技術亦往原子等級奈米堆疊邁進，並需達到高保形性、優良均勻度、以及深入孔隙結構等特質，成為薄膜披覆 ...
越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術
https://www.narlabs.org.tw
台灣半導體製造業位居全球重要地位，也是台灣重要的產業發展項目，隨著技術演進，元件尺寸越來越小、結構越來越複雜，傳統薄膜製程技術(PVD, CVD) 漸漸無法滿足這些 ...