黃光蝕刻原理：為何半導體無塵室都採用黃光？原來影響晶片關鍵步驟
為何半導體無塵室都採用黃光？原來影響晶片關鍵步驟
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黃光製程實驗室
https://cptft.mcut.edu.tw
本實驗室將進行之研究方向是半導體器件製造製程中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構，然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到所在基板上。
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光罩( Photomasking )製程簡介
http://ftpmirror.your.org
光罩的原理區分為兩個領域： ... 光阻劑是一種含感光懸浮物質的. 液態化學品，它對水銀電弧燈所. 產生的紫藍色光線具有感光作用. 它對紅色及黃色光線不具有感光. 作用，因此 ...
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半導體製程(二)
https://www.macsayssd.com
刻字訣的目的是把晶圓上的薄膜刻成某個圖案，由於這些圖案極端精細微小，所以當然不能用手刻，而是要用微影製程(或稱光刻製程)，由於此一系列製程多半在黃色燈光下進行， ...
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半導體製程類設備
https://prohanns.com.tw
MAXIS ICP-300LAH乾式蝕刻機產能較大，Batch式的載盤，其工作原理是利用電漿來進行薄膜的蝕刻，其最大優點是具有非等向性蝕刻,主要適用於半導體製程中氮化鎵材料蝕刻or ...
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半導體產業及製程
http://140.118.48.162
黃光(PHOTO). 1.光罩(MASK). 2.光阻(Coater). 3.曝光(Exposure). 4.顯影(Development). 蝕刻(ETCH). 1.濕蝕刻(Wet-ETCH). 2.乾蝕刻(DRY-ETCH). 光阻去除(PR remove). 將光 ...
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第一章緒論
https://ir.lib.nycu.edu.tw
半導體的基本製程一般可以分成潔淨、黃光、蝕刻、擴散、薄. 模、平坦化等等。以下就陳文章[3]在積體電路製程及設備技術手冊中的半導體. 製程材料及化學品論文中所提到的 ...