jr靜電吸盤：今天讲讲静电卡盘（ESC）
今天讲讲静电卡盘（ESC）
■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
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靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。 圖片. □靜電吸盤的種類 (1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤. “ ...
施加单相方波交流吸附电压时通过使用力延迟在具有微加工表面 ...
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在本发明中，通过将单相方波交流电压施加于Johnsen-Rahbek(J-R)静电吸盘(ESC)来吸附和释放有背面绝缘层的半导体晶圆，解决了现有技术中存在的难题，其中，例如，方波电压的 ...
雙極式靜電吸盤測試環境及吸附力之探討
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本文，對於雙極式靜電吸盤之吸附特性. 及原理做一系列探討，並建構出晶圓與靜電式. 晶圓座挾持系統之熱傳模式，探討晶圓溫度的. 均勻性。利用其中一些重要參數的變換，包含.
靜電吸盤產品資訊
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當靜電吸盤使用的介電層材料為半導體材料時，稱為Johnsen-Rahbek 靜電吸盤(JR ESC)。其介電質表面不僅有極化電荷，還有很大部分自由電荷，這是因為JR吸盤的介電質有一定 ...
靜電吸盤的基本構造和原理
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種類：基本分為兩類。即庫侖類和JR或Johnsen-Rahbek。 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來固定Wafer。
靜電吸盤解決方案
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基本原理與流程： 目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(Electrostatic Chuck，簡稱ESC 或靜電力吸盤)。
靜電盤的吸附原理
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以Johnson-Rahbek所主導的靜電吸盤，是透過調整介電層的絕緣性，以少量通過的電流來吸附對象物。將內部電極加壓電壓後，電荷慢慢地往表面移動，產生虛擬電極。產生的虛擬 ...