stepper曝光機原理:曝光機
曝光機
Scanner光刻机和Stepper光刻机的区别
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光刻机的工作原理是:将芯片表面涂覆一层光刻胶,然后将光刻版放置在芯片表面上,通过光源和光学透镜对光刻版进行精确曝光,最终将芯片表面的光刻胶进行刻 ...
半導體解密:ASML曝光機憑什麼能一廠獨大?台積電總能買 ...
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曝光機的原理其實像幻燈機一樣簡單,就是把光透過帶電路圖的掩膜(Mask,後來也叫光罩)投影到塗有光敏膠的晶圓上。早期60年代的光刻掩膜版以1:1的尺寸緊 ...
微影照像
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3. 曝光(exposure)用光罩對準儀(mask aligner)或步進照像機(stepper)。 前者一次曝光一整片晶圓(wafer),後者以步進重覆方式,一次曝光數個晶. 片(chip)。更 ...
數位光阻材料技術與應用
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或者使用步進式曝光機(Stepper)如圖三(b),但複雜的光學設計和曝光場域大小受到限制,曝光將按順序以步進重覆方式進行。因採用投影光學器件,可在沒有 ...
晶圓步進機之微影覆蓋模型誤差分析與補償
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曝光機Mask Aligner設備如何執行量測?
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... 曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機(英語:stepper)或掃描式曝光機(英語:scanner),獲得比模板更小的曝光圖樣。 曝光機作動原理 ...
黃光微影製程技術
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類似投影機原理,將光罩上的圖. 形投影到光阻上。優點就是解析. 度可以很高,要配合步進設備。 最初是以1:1的方式進行投射對. 準,進而將比例放大為10:1或5:. 1的比例 ...
黄光制程简介
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曝光的作用. 侧面图. Light. Reticle. Lens. Resist. Wafer. 俯视图 ... 步进式曝光机:Stepper. 主要机台: Cannon iZ01. 2 ... Scanner 工作原理图1. Variable. NA. REMA.