e-chuck材質:E
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各式靜電吸盤的新品及維修服務
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■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
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... □什麼是靜電吸盤E-Chuck? 靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。 圖片. 可吸附多種材質. EDRAGON TECHNOLOGY CORPORATION.
產品資訊
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當靜電吸盤使用的介電層材料為半導體材料時,稱為Johnsen-Rahbek 靜電吸盤(JR ESC)。其介電質表面不僅有極化電荷,還有很大部分自由電荷,這是因為JR吸盤的介電質有 ...
什麼是靜電吸盤
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什麼是靜電吸盤(E-Chuck,ESC). 靜電吸盤是利用『靜電的力量』去吸附對象物的一種裝置。 靜電吸盤上存在著正電極與副電極,只是肉眼看不見。對象物被靜電吸盤吸附的狀態 ...
靜電吸盤的基本構造和原理
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靜電盤/ 靜電吸附盤/ ESC / Electric Static Chuck. 請稍候... 靜電吸盤的基本構造 ... 以前的吸盤用的電介質多為有機材料或陽極氧化層,現在已普遍採用陶瓷。純電介質做 ...
專利庫倫力型靜電吸盤Patent Coulomb
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先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內,完成無線吸盤Mobile E-Chuck Carrier Supporter。 ... (6) 可吸附多種材質和多孔隙材料:金屬/半導體/玻璃/紙張/絕緣體/多孔隙材料 ...
静电卡盘/陶瓷加热器
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(1)装有加热器的静电卡盘(ESC/加热器). 【材质:AIN(氮化铝)】. 通过控制AIN的体积电阻率,可以获得大范围的温度域和充分的吸附力。 通过自由度高的加热器设计 ...
電漿製程環境中雙極性靜電吸盤的量測與開發
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雙極性靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)已經在一系列的電漿製程環境中被研發使用,它的優勢是在於它不需加入電漿即可以有吸附能力,所以在業界逐漸廣泛運用。
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D/C Pin 圖片/材質與規格1/3. 相容美國柯林研發Lam Research12吋E-Chuck之D/C. Pin有5個型號:. L315/L324/L328/L374/L608已量產超過6年,廣泛應用在台灣所有用FAB.