ror漏率
「ror漏率」熱門搜尋資訊
什麼是洩漏，如何測量真空系統中的洩漏率
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表格顯示，當孔直徑減小到1 μm (= 0.001 mm) 時，洩漏率將達到10-4 mbar · l/s，在真空技術中，該值已經表示嚴重洩漏(參見上述經驗法則)。10-12 mbar · l/s 的洩漏率對應於 ...
真空殘氣及釋氣(RGA)量測設備
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腔體自動靜態升壓測漏模式( ROR leak check mode) : 腔體接受指令後自動執行ROR 靜態壓升測漏， 以確認腔體是否有外氣洩漏之狀態。 維修模式( Maintenance mode) ...
真空儀器測漏實務
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漏氣率通常以漏氣孔漏入氣體的氣流通量來表. 示，其單位為托耳－公升秒(Torr．L/s) ... 兩種，毛細管式標準漏氣管之漏氣率可從10–3 至. 10–7 Std cc/s，滲透管式標準 ...
UL6000 Fab 系列
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通过测量上升率（RoR），半导体和真空设备在运行过程中受到持续监控。在 ... 氦气最低检测漏率(吸枪模式), mbar∙L/s, <5∙10-8. 最大进气压力(MASSIVE 模式), atm ...
Chapter 6 測漏技術與清潔方法第一節真空系統的漏氣 ...
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漏氣率測定法-動態測漏法(A). 待測真空系統內充測試氣體. 待測真空系統 ... 漏入待測真空系統的漏氣率為Qt，. 幫浦所抽氣體的氣流通量Q=S‧p，真空系統的壓力為 ...
CVDDiffusionEtch
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- 即時測漏不需停機取代ROR - 即時上傳數值至FDC - 無須配備額外的抽氣系統 ... - 最小量測漏率：< 0.2 mTorr/min (ROR @ 100Liter chamber). - 通過MET 美國UL ...
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Rate of rise ROR(. Rate of rise ROR(漏率). 1.按下鍵盤/顯示器上的regen 鍵,顯示器會顯示目前的狀態. 顯示器會顯示目前的狀態. 顯示器會顯示目前的狀態. 2. 連續按next ...
一个从事半导体行业的小兵，词汇积累中ROR：压升率，表征 ...
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导体行业的小兵，词汇积累中ROR：压升率，表征腔室漏率的一个参数，是反映真空设备保持真空的能力，越小越好。 BOM：物料清单（Bill of Material ...
真空型氧氣偵測系統(O2 Sensor)
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一般而言，確保真空腔體(Chamber)的真空是否有漏，除了可用氦氣測漏儀或以真空計去量測真空壓力上升的情況(ROR) 。但上述兩種方式都無法在製程過程中即時監控洩漏狀況，如 ...
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