光阻成分
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黃光微影
https://ap.nuk.edu.tw
正光阻的成分有三種:溶劑、樹脂、光活性化合物。 溶劑可讓光阻保持容液狀態使光阻可以旋舖方式塗佈在基板上。 樹脂提供光阻的粘著性、抗蝕刻能力,並可被鹼性顯影液分解。 光活性化合物對特殊光線具有靈敏性,又稱為感應劑。
![光阻劑](https://api.multiavatar.com/%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91-+%E7%B6%AD%E5%9F%BA%E7%99%BE%E7%A7%91%EF%BC%8C%E8%87%AA%E7%94%B1%E7%9A%84%E7%99%BE%E7%A7%91%E5%85%A8%E6%9B%B8.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
光阻劑
https://zh.wikipedia.org
光阻劑(英語:photoresist),亦稱為光阻或光阻劑,是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射後,溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料,是微影製程中 ...
![半導體光阻材料技術](https://api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E5%85%89%E9%98%BB%E6%9D%90%E6%96%99%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體光阻材料技術
https://www.materialsnet.com.t
G-line/I-line光阻劑的主要組成為酚醛樹脂(Novolac Resin)與感光物重氮萘(Diazo-naphtho-quinon; DNQ)。酚醛樹脂在鹼性顯影劑水溶液中相對容易溶解,但當 ...
![光阻劑是什麼?光阻劑和去光阻劑成分、差異](https://api.multiavatar.com/%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91%E6%98%AF%E4%BB%80%E9%BA%BC%EF%BC%9F%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91%E5%92%8C%E5%8E%BB%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91%E6%88%90%E5%88%86%E3%80%81%E5%B7%AE%E7%95%B0.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
光阻劑是什麼?光阻劑和去光阻劑成分、差異
https://www.echemsemi.com
光阻劑(也稱為光阻),主要應用於電鍍或蝕刻等工業製程中,光阻劑一般為高分子、溶劑、光感劑等成分組成的光敏材料,並透過光反應刻上結構圖形,是影響半導體製程生產效率 ...
![光阻劑](https://api.multiavatar.com/%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91-+%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E8%A3%BD%E7%A8%8B.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
光阻劑
http://homepage.ntu.edu.tw
光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子. 2. 允許光阻藉由旋轉塗佈而成. 薄層以進行應用. • 感光劑. 1. 決定曝光時間及強度. 2. 添加劑. Page 3. 5. 負光阻. • 大部分 ...
![光阻劑](https://api.multiavatar.com/%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91%7C+Envure+DV.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
光阻劑
https://www.sacheminc.com
光阻劑應用的配方成分20 多年以來,SACHEM 一直是用於電子應用的顯影劑電子配方成分的領先供應商。大部分顯影劑已使用四甲基氫氧化銨(TMAH) 和四丁基氫氧化銨(TBAH) ...
![半導體光阻剝離PR Strip 製程介紹](https://api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E5%85%89%E9%98%BB%E5%89%9D%E9%9B%A2PR+Strip+%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E4%BB%8B%E7%B4%B9.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體光阻剝離PR Strip 製程介紹
https://www.scientech.com.tw
光阻材料是有機物一般以碳、氫、氧化合物為主體,一般都用硫酸根或氫氧根離子破壞碳氫氧鍵,達到光阻去除的目的,傳統光阻剝離劑多是採用DMSO (二甲基亞碸) ...
![半導體用光阻劑之發展概況](https://api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E7%94%A8%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91%E4%B9%8B%E7%99%BC%E5%B1%95%E6%A6%82%E6%B3%81.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體用光阻劑之發展概況
https://www.moea.gov.tw
光阻劑(Photoresist)是一種光敏感材料,由樹脂、光敏感劑、溶劑和添加劑等組成,根據曝光顯影後的變化,分為正型(Positive type)光阻劑和負型(Negative ...
![彩色光阻的機制](https://api.multiavatar.com/%E5%BD%A9%E8%89%B2%E5%85%89%E9%98%BB%E7%9A%84%E6%A9%9F%E5%88%B6.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
彩色光阻的機制
https://www.artiencegroup.com
彩色光阻的成分與製造程序 ... 彩色光阻是在色材裡添加樹脂與溶劑等製成色膏,再添加光聚合引發劑與各種添加劑,幫助由紫外線引起的聚合反應。