冷凍幫浦原理
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冷凍幫浦技術
https://physics.nptu.edu.tw
冷凍真空邦浦,是一種高真空邦浦,其工作壓力約在10~101 Torr 之間。 其抽氣速率大,無油氣污染,不必使用液態氮,電力 消耗低,可安裝在任何位置,而不影響其導通與抽氣速率。 冷凍真空邦浦的原理是:利用極低溫的表面,來吸附氣體分子, 以達到抽氣(Pumping)的效果。
冷凍幫浦如何運作？
https://www.leybold.com
製冷式冷凍幫浦的完整範圍如圖2.65 所示，其包含空壓機裝置(1)，其透過彈性壓力管線(2) 以無振動方式連結至冷凍幫浦(3)。冷凍幫浦本身包含幫浦外殼與內部的製冷頭。氦氣會 ...
冷凍幫浦系統原理及維護鄭鴻斌副教授國立台北 ...
https://erac.ntut.edu.tw
冷凍真空幫浦是利用超低溫的環境來吸附真空腔體內的氣體以. 達到抽氣的效果，其抽氣方式分為超低溫冷凝(Cryocondensation)、超. 低溫吸附(Cryosorption)及超低溫捕獲( ...
第一節真空幫浦
http://www.phys.nthu.edu.tw
冷凍幫浦（cryogenic pump簡稱cryo pump）. 離子幫浦（ion pump). 3. 真空 ... 以冷凍為基本抽氣原理的幫浦多以液態氦為冷凍介質，此. 類的冷凍幫浦因太過昂貴 ...
低温泵
https://showcase.ulvac.co.jp
低温泵使用小型氦冷冻机，不需要像贮液型低温泵那样定期补给冷冻剂，通过简单的操作即可得到清洁的超高真空，可长时间、稳定的连续运转。 2.低温泵的动作原理和结构.
真空抽氣技術
https://www.junsun.com.tw
離子幫浦藉由電場作用，離子化系統內的殘餘氣體分子，再利用結拖（getter）材料與離子化氣體分子化合後形成低蒸汽壓固體（low vapour pressure solids）儲存於幫浦之中，而 ...
真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用
https://www.tiri.narl.org.tw
真空幫浦的作用是將一特定空間之氣體分子抽 除而達到某一壓力狀態。 對於不同製程之應用來 說，其工作壓力範圍有所不同，在選擇真空幫浦類 型時，須根據製程特性及真空度 ...
極低溫高速排氣高真空冷凍幫浦
http://www.jernru.com
使用-JR- 極低溫高速排氣真空冷凍幫浦系統處理作業,主要是利用極低溫凍結的水分子捕捉原理。 水蒸氣可以在低溫冷凍的表面被捕捉到,此設備即稱為冷凍陷阱 ...
冷凍真空幫浦抽氣性能研究
https://ndltd.ncl.edu.tw
冷凍真空幫浦(Cryopump) 利用極低溫環境來吸附真空腔體內的氣體以達到抽氣效果，抽氣機制包含低溫冷凝、低溫吸附及低溫捕獲等三種方式，冷凍系統採用以氦氣作冷媒的閉 ...