曝光顯影製程

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http://homepage.ntu.edu.tw

經顯影製程，未曝光部. 分溶解. ▫. 較便宜. 正光阻. ▫. 經曝光後變可溶. ▫. 經顯影製程，曝光部分. 溶解. ▫. 解析度較佳. ▫ 光敏感物質. ▫ 暫時塗佈在晶圓上表面. ▫ ...

http://homepage.ntu.edu.tw

• 經顯影製程，未. 曝光部分溶解. • 較便宜. 正光阻. • 經曝光後變可溶. • 經顯影製程，曝 ... • 未曝光部分將溶於顯影劑. 缺點. • 由於光阻膨脹使解析度較差. • 環境及安全 ...

https://www.moea.gov.tw

半導體微影製程中的曝光機、光阻塗佈/去除、光罩製作/清洗/修補/傳載/儲放、量檢測等設備，組成一個微影製程設備生態系。在這個生態系中的各種設備 ...

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微影製程（英語：photolithography 或optical lithography，中國大陸稱為光刻工藝）是半導體元件製造製程中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何 ...

https://scitechvista.nat.gov.t

IC的製程簡單來說，是在矽晶圓上製造出一個電路構造，其中包括許多半導體元件，以及彼此連接的金屬線等。這個製造過程極其複雜，因為我們必須在晶圓上放上各式各樣的 ...

https://www.narlabs.org.tw

... 微影製程的曝光光源，最後的成品就是微影製程的結果。簡言之，我們經由簡易的微影製程將光罩上所有圖形轉移到晶圓上了。我們是在暗室中完成實驗過程，實際的微影製程是 ...

http://semi.tcfst.org.tw

... 顯影劑用於高解析度的製程. -負光阻的特性: 照光之後 ... 晶片都要曝光的話，得. 進行重覆步進的工作。 Page 20 ... 電子束曝光系統的優點就是可以直接生產所需的圖. 形 ...