浸潤式微影技術
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【林本堅專訪3】被譽為「浸潤式微影之父」「半導體界愛因斯坦」
https://www.thenewslens.com
他20年前在台積電擔任研發處長時，以浸潤式微影技術，成功把摩爾定律推進6個世代；20年後，產業面臨空前的人才困境，80歲的林本堅再次扛下重擔，出任清大 ...
微影技術的未來浸潤式vs.奈米壓印式
https://www.ctimes.com.tw
微影技術的發展，一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容，在半導體產業裡具有重大的指標意義。針對65奈米以下光罩製作，浸潤式微影技術的出現，也代表著 ...
林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來
https://www.itri.org.tw
浸潤式微影，這個十年前還不為人所認可的技術，在林本堅頻頻奔走於國際研討會，以傳教士精神鼓吹推動下，不僅扭轉半導體產業從乾式微影技術轉為以水為介質的浸潤式微影技術 ...
林本堅神推浸潤式微影技術ASML總裁嘆：是個奇蹟！
https://www.wealth.com.tw
浸潤式微影技術教父、台積電前研發副總林本堅堅持研發對半導體產業帶來巨大影響。艾司摩爾（ASML）總裁布林克（Martin van den Brink）接受荷蘭媒體de ...
浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天？
https://www.semi.org
1900年代，浸潤式顯微鏡技術已經成為科學。 上述原理是利用光通過液體介質時會彎折的特性──把筆直的筷子插在裝滿水的玻璃杯 ...
浸潤式微影技術
https://scitechvista.nat.gov.t
這種「加了水」的微影技術，就叫做浸潤式微影技術。透過它，以及其他相關技術的發展，人類成功地讓晶片愈來愈精密，電路的線寬愈來愈細。剛剛提到在65奈米 ...
浸潤式微影技術的問世與挑戰
https://techthy.org
大量的資金投入，各大公司的研發都苦於解決問題時，林本堅院士從微影技術上下手，提出從傳統的乾式微影，轉移成浸潤式濕式微影技術。這項技術的原理，便是 ...
簡單的光學突破3C 科技瓶頸：浸潤式微影
http://phys5.ncue.edu.tw
浸潤式微影利用簡單的物理光學原理，包含折射、繞射與鑑別度，可以. 同時改善解析度和焦距深度。使用原有微影系統，搭配浸潤式微影，可以達到更. 短光源波長的效果，對IC ...
衝破晶圓製造瓶頸的一滴水
https://www.ltedu.com.tw
微影技術機是全世界最精密的照相機，可把電路的影像投射在覆蓋於矽晶圓上的光阻劑，然後，用顯影劑移除曝光的部位，再由蝕刻藥劑把電路刻到晶圓上，之後晶圓即可被切割成 ...