特殊氣體供應系統的規劃與設計
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半導體廠氣體供應系統之規劃與設計
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氣體供應大宗氣體特殊氣體氣體監控Bulk gas Special gas; 描述：: 來源期刊:奈米通訊: 卷期:10:3 民92.08: 頁次:頁45-53; 日期：: 20030800; 來源：: 臺灣期刊論文索引系統 ...
廠務123 分享區
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... 氣體，和特殊氣體(Specialty Gases)，如SiH4、AsH3、PH3…等以鋼瓶供應的氣體。本文主要針對特殊氣體的供應系統進行探討，大宗氣體的供應設計則因其供應 ...
氣體供應系統Gas Distribution System
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和淞科技氣瓶櫃通過了SEMI S2 認證的相關要求，並提供氣體供應系統之各項設備，產品線包含VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及Scrubber。以上所有 ...
特殊气体供应系统规划与设计
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特殊气体供应系统规划与设计-SERVICE DEPT. PAGE 7也严重禁止。 3. 管路大小应依实际制程所需的压力流量来设计。 4. 钢瓶接头型号应事先由业主告知我们以免有接头无法 ...
特殊氣體供應系統
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特殊氣體供應系統. 設備種類. Gas Cabinet氣瓶櫃. Gas Rack氣瓶架. Mixer混氣設備. VMB ... 氣櫃的設計和製造主要是為了安全存儲和操作高純劇毒，可燃，自燃，腐蝕性，氧化性 ...
特气设计
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若期望對氣體供應系統做出較佳的規劃設計，一定要對氣體特性有相當的了解，才有 ... 本文主要針對特殊氣體的供應系統進行探討，大宗氣體的供應設計則因其供應方式的特殊 ...
特氣供應&監控系統整合事業部
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氣瓶櫃、氣瓶架、VMP/P 設計與銷售; GIS、HPM、FMCS 等監控硬軟體規劃設計及監造、加熱帶規劃及銷售. 1. 二次配工程設計、規劃、測試與施工. 2. 氣體主系統規劃設計、測試 ...
第一章緒論1.1 研究背景及動機1.2 研究目的
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而氣體供應輸送系. 統的規劃，也就隨著各種不同氣體間的特性，而有簡單的及非常複雜的設計。 2.1.1 大宗氣體(Bulk Gases)供應系統. 一般的大宗氣體N2、O2、Ar 常用的 ...