長晶原理

TWI701363B

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在柴氏長晶法的單晶生長中，在維持減壓下的惰性氣體（如：氬氣、氮氣、氦氣）環境的腔室內，將晶種浸漬於坩堝內所積存的矽的原料熔湯中，並將所浸漬的晶種緩慢提拉，藉此於 ...

晶圓

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柴可拉斯基法

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當矽完全熔化時，末端裝有晶種的棒被緩慢地下放到熔融狀態的矽中。棒以逆時針方向旋轉，坩堝以順時針方向旋轉。隨後，旋轉的棒被極慢地向上提升，這樣，近似圓柱 ...

機械工程學系

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柴氏長晶法屬於熔融液生長法(Melting Growth)的一種，一般工業. 界使用的長晶爐如圖1-1 所示，其架構可分為控制系統、矽晶爐體、. 加熱器、晶棒/坩鍋拉升旋轉機構與氣體 ...

矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

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矽晶圓長晶過程因矽晶棒頭尾兩端形成圓錐狀而無法切成固定大小晶片，需. 要予以裁切去除，產生「廢矽晶頭尾料」。因其成分與產出的單晶矽晶棒之特性. 相似，可重新投入長晶 ...

第3類半導體晶片怎麼做？基板難在哪？圖解生產流程

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... 長晶（生長碳化矽單晶）做起，作法是將碳化矽粉體倒入長晶爐，在高溫且密閉的空間使其昇華，讓晶源粉末的蒸汽冷凝後，附著在碳化矽晶種上。 碳化矽的長晶 ...

第二十三章半導體製造概論

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長晶是從矽砂中（二氧化矽）提煉成單晶矽，其製造過程是將矽石（Silica）或矽酸鹽（. Silicate）如同冶金一樣，放入爐中熔解提煉，形成冶金級矽。由於冶金級矽中尚含有雜質 ...

長晶爐監診

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影響晶種生成品質因素很多，單晶矽圓片由普通矽砂拉製柴可拉斯基法將此多晶矽熔解，再於溶液內摻入一小粒的矽晶體晶種，然後將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶矽晶棒，由於 ...