旋 塗 法：旋塗
旋塗
Spin Coat
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旋轉塗佈法已在半導體業界行之有年，是成長基板薄膜最節省成本且最適合大量生產的一種方法。
以二氧化鈦為基礎的薄膜(下)
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旋轉塗佈是一種沉積薄膜在平坦基底上的方法。將少量溶膠或凝膠塗佈在基底的中心，接著將基材在高速旋轉下利用離心力散布塗料，繼續轉動使流體旋轉至基 ...
旋轉塗佈(Spin coating)
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旋轉塗佈在成長薄膜的過程中沒有化學反應發生，由於不需要真空，而且薄膜可以大量快速地在基板上塗佈，成本極低適合工廠大量生產，但是塗佈的材料必須能夠溶解在化學 ...
旋轉塗佈技術簡介
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旋轉塗佈為利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗. 料進行厚度均勻化的製程。 Page 5. 旋轉塗佈步驟. Step1：Substrate on Vacuum Chuck. Step ...
旋轉塗佈機的概要
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「旋轉塗佈機」是利用旋轉離心力的塗佈裝置，也稱為「旋塗機」。它可以在平滑的被塗佈物體（工件）上獲得薄而均勻的塗膜。典型用途十分廣泛，包括從以半導體晶圓的表面處理 ...
旋轉塗佈精準定量注料解決方案
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旋轉塗佈(Spin Coating)是利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗料進行厚度均化的過程，在平滑的工件上獲得薄且均勻的塗膜。旋轉塗佈的應用常見包括在半導體、平面 ...
旋轉塗佈薄膜的流體力學與質量傳輸數值研究
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旋塗薄膜最終厚度與. 旋轉角速度之平方根成反比關係，其間係數與旋塗液中初始固體溶質濃度呈指數. 上升關係。 關鍵詞： 旋轉塗佈、移動網格、相場法、濃物質質傳、薄膜厚度 ...
旋轉塗覆
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《旋轉塗覆》（英語：Spin coating）是一種高速成膜方法，可以得到均勻的薄膜，均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備。它利用旋轉產生的離心力，將溶膠、 ...
旋转涂覆
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《旋轉塗覆》（英語：Spin coating）是一种高速成膜方法，可以得到均匀的薄膜，均匀性广泛应用于半导体材料及化工材料等薄膜制备。它利用旋转产生的离心力，将溶胶、 ...