擴散幫浦 真空度:如何選擇幫浦大小
如何選擇幫浦大小
真空抽氣技術
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與上述之分子渦輪幫浦一樣,擴散幫浦的工作壓力約莫介於10-4 ~ 10-10 Torr,只能用於分子流的真空環境下運作,因此需要搭配前級幫浦(例如:機械幫浦或窩卷式幫浦等)使用。
高真空系統
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擴散幫浦(Alcatel crystal 202 UHV;diffusion pump, DP)的抽氣速率為1250 L/s,因擴散幫浦須在中度真空範圍(~ 1 x 10-2 Torr以下)才能作用,故在其前端連接一具機械幫浦。
第一節真空幫浦
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真空系統必須先由上述的抽粗略真空到中度真空用的幫浦. 將真空系統抽真空至接近高真空的壓力範圍,然後再起動. 高真空幫浦. 12. Page 4. 擴散幫浦. diffusion pump.
選擇真空幫浦怎麼做?給初學者的完整教學!
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... 真空度要高於真空設備真空度半個到一個數量級。 2.正確地選擇真空幫浦的工作點. 每種幫浦都有一定的工作壓強範圍,如:擴散幫浦為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強範圍內,幫浦 ...
真空機械幫浦原理解說及維修
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真空幫浦之操作原理是由機械式動作自真空腔室中抽氣,接著在幫. 浦中進行氣體傳輸、壓縮、排氣之行程,達到抽真空的效果。由抽. 氣機構中幫浦腔室中是否含有油脂等液體, ...
哪些真空幫浦適用於抽排乾式氣體
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另外還有特殊擴散幫浦將擴散幫浦的典型屬性(高真空區域中的低極限真空壓力、高抽氣速度) 與蒸氣噴射幫浦的重要屬性(中度真空區域中的高輸送量、高臨界前級壓力) 結合在一起 ...
真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用
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本文從真空幫浦抽氣原理開始,介紹性能檢測. 技術及分析方法。 Vacuum pumps have been widely used in semiconductor and electro-optic industries. Dry vacuum pumps ...
真空幫浦
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動力幫浦是一種將動量持續不斷的加入抽進幫浦內部的氣體,使. 得氣體可以持續不斷的從幫浦的入口端往出口端移動,這類幫浦包含. 有水噴射幫浦(water jet pump)、擴散幫浦( ...
专家问答:扩散泵是如何工作的?
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真空炉系统使用各种类型的泵将大气压力从炉膛中排空,以达到所需的真空度。每个真空炉抽气系统中通常包括两个子系统--粗抽泵和真空增压泵。 ... 泵作为扩散泵的后备系统。