蝕刻原理：電蝕刻（Electrical Etching）
電蝕刻（Electrical Etching）
金屬蝕刻是什麼？瞭解金屬蝕刻原理、製程、加工應用領域與趨勢
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化學蝕刻主要原理是利用化學物質所產生氧化還原反應特性，讓指定露出之金屬材料表面接觸化學溶劑，精確、有選擇比的將該區域溶解腐蝕、蝕刻出所需形狀和細節；物理蝕刻原理為將化學成分離子化，加速離子撞擊表面，造成蝕刻現象。
蝕刻技術
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半導製程原理與概論Lecture 8. 蝕刻技術. (Etching). 嚴大任助理教授. 國立清華大學 ... 加速蝕刻物垂直方向蝕刻率，而. 得到異向蝕刻的結果。 ▫ 氣態式及電漿式(現多 ...
辛耘知識分享家
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以下將深入探討乾蝕刻設備的原理、優缺點以及廣泛的應用領域。 ◉乾蝕刻設備的原理. 乾蝕刻設備通常包括一個處理室（process chamber）、氣體供應系統 ...
Ch9 Etching
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蝕刻(Etching). ▫. 表面物質去除化的製程: 化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻或整面全區蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層. ▫.
必須將已曝光的部分從晶圓上除去，蝕刻製程的功能
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濕蝕刻是將晶片浸沒於適當的化學溶液中，或將化學溶淬噴灑至晶片上，經由溶液與被蝕刻物間的化學反應，來移除薄膜表面的原子，以達到蝕刻的目的。乾式蝕刻（又稱電漿蝕刻） ...
感應耦合電漿蝕刻
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蝕刻技術大致上可分成兩種，乾式蝕刻與濕式蝕刻。濕式蝕刻中為使用化學藥劑，經過化學反應以達到蝕刻之目的；乾式蝕刻為一種電漿式蝕刻，其原理為 ...
電漿表面蝕刻Plasma Etching
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電漿表面蝕刻是一種用來增加表面micro等級材料區塊的處理方式，讓物件的表面用反應氣體來進行蝕刻。 表面的材料被蝕刻掉，轉化為氣體並由真空系統 ...
【面板制程刻蚀篇】史上最全Dry Etch 分类、工艺基本原理及良 ...
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质量较小的电子受吸引加速较快到达电极表面，使电极附近形成带负电的鞘层电压，这就是自偏压产生的原理。 ... 蚀刻与化学反应性蚀刻的方法。 行家说. 物理和化学刻蚀 ...
先進半導體沉積和蝕刻設備技術發展與產業觀察
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... 原理是材料在高真空的環境中，從高純度靶材濺射到基板上；CVD的原理是化學前驅物被通入製程反應腔體進行化學反應，並將副產物沉積在基板上。 蝕刻製程 ...