先進製程控制技術apc導論:公開課程
APC應用在半導體蝕刻製程之氣體回饋機制
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【製程控制方法
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... 製程管控上,不僅能提升製程穩定度,也是先進製程開發中不可或缺的科技。 透過APC(Advanced Process Control)技術的演進,能夠在原本半導體機台的 ...
先進製程控制技術(APC)導論
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因此在本文中筆者是採用最廣義的觀點來定義APC:凡是基於製程機台設備所收集的製程時序性資料,再參考其他來源資料(例如排程、量測機台量測值、Yield、 ...
先進製程控制技術(APC)導論
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從基本的機台連線與資料收集,進行參數上下限監控、SPC與製程Trend chart圖的分析,進而導入前/回饋批次控制與製程/設備建立模型等等,整個導入與開發過程 ...
先進製程控制技術發展趨勢
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APC商用系統提供者近年已有長足的進步,具備提供複雜演算的能力來協助資料的分析,以及方便使用的資料蒐集人機介面。從較簡單的失誤偵測與分類(Fault Detection and ...
先進製程控管
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APC的施行動機主要是透過收集巨量資料、降低製程變異與提高設備運作效率,以改善IC元件的良率。為了實現此一目標,大量的數學、統計和物理技術都被應用部署至APC架構中, ...
整合分析挖掘半導體製造智慧
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... 先進自動化控制順應智慧製造新趨勢, 自動化與智慧工廠論壇專輯/監控 ... 製程配方,以進行批次正向補給回饋自動控制。 然許嘉裕認為,智能製造 ...
運用季節性時間序列預測模式在半導體製造業提升製程控制 ...
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17.曹永誠(2005),「先進製程控制技術(APC)導論」,電機月刊,第174期,頁202-215。 Airiti Library · DOI · Google Scholar. 3.Box, G., Kramer, T. (1992) ...