離子植入機英文:AIBT
AIBT
離子植入
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離子植入(ion implantation)是半導體摻雜的方式之一。 將欲加入的雜質先離子化,提昇雜質的能量或動能,接著利用電場加速離子運動速度及磁場改變運動方向,將經離子化的雜質直接打入矽晶片內,使雜質原子擴散進入矽晶片內部。
ion implanted device - 離子植入裝置
https://terms.naer.edu.tw
學術名詞 電子計算機名詞 · ion implanted device · 離子植入裝置. 以離子植入裝置進行詞彙精確檢索結果. 出處/學術領域. 英文詞彙. 中文詞彙.
離子佈植
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離子注入是一種將特定離子在電場裡加速,然後嵌入到另一固體材料之中的技術手段。使用這個技術可以改變固體材料的物理化學性質,現在已經廣泛應用於半導體元件製造和某些 ...
樂詞網: 離子植入儀器
https://terms.naer.edu.tw
學術名詞 電子計算機名詞 · ion implantation apparatus · 離子植入儀器. 以離子植入儀器進行詞彙精確檢索結果. 出處/學術領域. 英文詞彙. 中文詞彙.
離子佈植機台
https://in.ncu.edu.tw
儀器中文名稱:中電流源離子佈植機(暫不開放); 儀器英文名稱:Medium current ion implanter; 儀器英文簡稱:Ion implanter; 儀器廠牌及型號:ULVAC IMX3500
工學院產業安全與防災學程
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半導體離子植入機臺(Ion Implant)進行晶片製程中,除正常例行預防保養(PM: Preventive Maintenance)外,尚有設備除污作業(Equipment Decontamination)。此除污作.
Ch8 Ion Implantation
http://homepage.ntu.edu.tw
利用離子佈植自我對準技術避免. 在源極與汲極區域的閘極對準失誤. 閘極氧化層 ... 離子佈植機示意圖. 氣體匱. 離子源. 真空幫浦. 真空幫浦. 電機系統. 電機系統. 磁鐵分. 析 ...
SMEN 04
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離子佈植是㇐種添加製程,利用高能量帶電離子束佈植的形式將摻雜物原子強行摻入半導體中。 ... 英文詳解. Document 4 pages. self - store 10 self - attach 991 1 臺北區 ...
離子佈植摻雜(Ion implantation)
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將某一種原子直接射入矽晶圓,使摻雜原子分佈在矽晶圓中稱為「離子佈植(Ion implantation)」,類似將子彈直接打到牆壁裡一樣。被植入矽晶圓的雜質原子就可以形成N型或P型 ...