N2 Purge：N2 Purge Function
N2 Purge Function
LCS 與N2P機台整合
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N2 Purge(N2P)設備是一種運用在半導廠內的設備機台，FOUP載具填充惰性氣體（氮氣N2）以降低晶圓氧化及保持乾燥狀態穩定FOUP內環境。 盟立N2 FOUP Stocker系統整合N2P ...
N2 Purge Oven
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從打點式溫度記錄器,無紙式記憶卡型溫度記錄器到多機以網路連線之即時資料輸出分析,提供充份技術支援. ... 從階段昇溫,持溫烘烤到降溫,可裝設自動風門,強制外氣導入裝置或 ...
N2 Purge 吹淨系統
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解決晶圓防護問題一氣呵成 · 可靠的晶圓保護：N2 Purge 吹淨系統藉由壓電閥達成精確的氮氣流量控制，可防止晶圓在輸送和儲存中受到氧化和污染的影響。 · 提高生產效率：N2 ...
产品体系
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半导体微污染防治设备 ; 实时湿度监控 ; 支援 Alarm 与FDC 功能 ; 内建RFID Reader、E84 Sensor ; 支援 Entegris ＆SEP 300mm FOUP.
在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2 Purge
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製程解決方案. 質量流量控制器在該製程中的主要功能是監測和控制超高純度(UHP) N2 (A)或清潔乾燥空氣吹掃(CDA)(B)。在較早的晶圓廠中清潔乾燥空氣吹掃（B）更為常用，而新 ...
高階製程微汙染防治傳載系統
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OHB N2 PURGE SYSTEM. OHB (Overhead Hoist Buffer)N2 Purge System. 用於製程前段，安裝於自動化軌道下方，專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣 ...
鼎京科技有限公司Synergy Tek. Co.
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OHC /OHB/ ZFS N2 Purge System · 控制箱尺寸: L-46 W-25 H-37 cm · 控制箱重量: 18 kg · 流量控制: 固定流量，可變流量(MFC) · 品質控制: 濕度檢測，氧濃度檢測 · 識別系統: ...