乾蝕刻介紹：蝕刻技術
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乾蝕刻（Dry etching）是一種常用於微電子製程中的表面處理技術，用於在固體材料表面上創建微細的結構和圖案。 它是一種非液體化學蝕刻方法，使用高能粒子（例如離子或中性粒子）或氣體化學反應去除材料表面的原子或分子，實現精準且高效的製程。
晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼?
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利用化學反應將薄膜予以加工，使獲得特定形狀的作業稱為蝕刻。蝕刻可分為乾式蝕刻與濕式蝕刻兩種。 最常使用的乾式蝕刻為平行板反應性離子蝕刻。
Ch9 Etching
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副產物為氣體、液體或可溶於蝕刻劑的固體. ▫. 三基本步驟：蝕刻、沖洗、旋乾. Page 5. 5. 9. 濕式蝕刻的應用. ▫. 濕式蝕刻不可在當CD < 3 µm時進行圖像蝕刻. ▫. 高選擇 ...
金屬蝕刻是什麼？瞭解金屬蝕刻原理、製程、加工應用領域與 ...
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乾蝕刻：通常是離子蝕刻，主要利用化學氣體經設備離子化，經由物理蝕刻或溶合化學蝕刻同時兩者的蝕刻方式，來移除表面材料。其中最大特點是「方向性蝕刻」，意味著能夠精準 ...
【蚀刻升级篇】剖析干蚀刻和湿蚀刻的作用、制程及其原理
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干蚀刻：利用不易被物理、化学作用破坏的物质光阻来阻挡不欲去除的部分，利用电浆的离子轰击效应和化学反应去掉想去除的部分，从而将所需要的线路图形留在 ...
儀器設備技術手冊與訓練教材金屬蝕刻系統
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乾蝕刻為電漿蝕刻，電漿是一種部分解離的氣體，氣體分子被解離成電子、離子，以及. 其它具有高化學活性的自由基(Radical)，在電漿中蝕刻的作用，可能是電 ...
必須將已曝光的部分從晶圓上除去，蝕刻製程的功能
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蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)與乾蝕刻(dry etching)兩類。濕蝕刻是將晶片浸沒於適當的化學溶液中，或將化學溶淬噴灑至晶片上，經由溶液與被蝕刻物間的化學反應 ...
蝕刻技術(Etching Technology)www.tool
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在濕蝕刻中是使用化學溶液，經由化學反應以達到蝕刻的目的，而乾蝕刻通常是一種電漿蝕刻(plasma etching)，電漿蝕刻中的蝕刻作用，可能是電漿中離子撞擊 ...
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乾蝕刻又被稱為等離子乾蝕刻，是從另一種材料的表面去除材料的過程。 · Figure 1: 用反應離子刻蝕製造全息圖 · 由於乾蝕刻比濕蝕刻具有等向性蝕刻以創建高深寬比結構的獨特 ...