tmah顯影劑原理：成分濃度測定方法、顯影液管理裝置
成分濃度測定方法、顯影液管理裝置
顯影劑
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相應的顯影劑基於稀釋的氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液，或基於無金屬離子有機 TMAH（四甲基氫氧化銨）的水溶液。許多顯影劑使用化學緩沖劑防止 CO2 中和以延長保質期，表面潤濕劑 ...
四甲基氫氧化銨
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TMAH有大量、廣泛的工業和科研用途，例如在半導體器件製造中的黃光製程中當顯影液（去光阻液）。 ... TMAH具有一定的相轉移催化劑性能，在鐵流體的合成中作為表面活性劑， ...
TMAH 顯影液濃度測定儀LQ-5Z
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不用滴定，快速檢測藥水濃度 · 可檢測TMAH 四甲基氫氧化銨濃度0-5% · 適用高濃度電鍍液、化學液、製程藥水 · 內建檢量線，可直接顯示溶液之濃度值 · 可利用已知樣品濃度做SPAN ...
微光電實驗室
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TMAH(顯影液成分)為強鹼，濺觸時可使用敵腐靈除污。 葡萄酸鈣較不適用於急救防護 ... 顯影劑中，氫氧化四甲基銨也用於氧化鐵奈米粒子的製作過程。 TMAH安全性及其 ...
顯影液
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正型光阻下，顯影就是將曝光區域除去；而負型光阻則是去除未曝光區域。 · 曝光區與非曝光區在顯影過程中，就是一個溶解選擇比的問題。 · 曝光區域中因為光化學反應產生了所謂 ...
我國IC製造業大宗廢棄物資源化發展概況(下)
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廢顯影劑. 顯影劑主要成份為TMAH(四甲基氫氧化銨；Tetramethylammonium hydroxide)，用於IC製造微影製程正型光阻曝光後顯影，使用濃度為2.38%，其餘 ...
顯影液回收再利用落實生態環境責任 ...
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氫氧化四甲基銨TMAH是電子業微影製程必需的顯影液，具生物急毒性，對生態環境衝擊大。三福自行研發的技術，將客戶使用後的TMAH廢液回收再利用，透過樹脂回收、電透析與純化 ...
四甲基氫氧化銨(TMAH)
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四甲基氫氧化銨溶液無色透明有微氨臭，1（wt）％溶液PH值為12.9，是與苛性鹼同等強度的強鹼。將四甲基氫氧化銨水溶液在減壓下濃縮可得到5個結晶水的吸濕性針狀結晶，再繼續 ...
濕式化學品在半導體製程中之應用
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光阻材料在經過曝光過程之後，須. 再經由顯影過程將曝光的圖案顯現出. 來，而顯影製程之原理，是利用鹼性的. 顯影液與經曝光之光阻層部份進行酸鹼. 中和反應，使其與未經光 ...