TTV 量測:FSS 310
FSS 310
晶圓厚度及翹曲檢測技術發展
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再結合自動化XY平移台,如圖3,可進行大區域範圍量測,完整量測出12矽晶圓的各區域總厚度變異(TTV, Total Thickness Variation)、翹曲(Warp)、彎曲(Bow) ...
桌上型手動雙氣壓探頭厚度TTV測量儀
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該系統包括一個固定的下部探頭和一個自動定位上部探頭。這提供了非常通用的測量能力,因為該系統可以測量範圍從100um到20mm厚的晶圓,而無需機械調整上探針位置。該系統可 ...
晶圓檢測
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隨著晶圓的總厚度變化(TTV) 越來越低、對特定結構表面的要求越來越高,極精確製程厚度監測採用的非接觸式和非破壞性測量技術已經成為不可或缺的測量方案。 不同的晶圓厚度 ...
總厚度變化(TTV)
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這些類型的光學元件的厚度變化,被稱為總厚度變化或TTV,對光學元件性能的精確鑒定和控制發揮至關重要的作用。 TTV定義了平行視窗或同心球面光學元件厚度的最大物理變化, ...
IC Wafer 平坦度量測設備
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jpg. 適用尺寸:2~12吋. 桌上型手動量測. 檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp. . 雷射位移載台-2.png. 適用Wafer尺寸: 1~8吋. 桌上型手動量測. 檢測項目:THK、TTV、Bow 、 ...
Wafer thickness measurement TTV
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Wafer thickness measurement / TTV · 積層製造 · 航太 · 自動化 · 汽車 · 電池製造 · 電子零件製造 · 能源科技 · 玻璃 · 半導體與晶圓製造 · 塑膠 · 烤漆檢測 ...
全自動晶圓厚度測量系統
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MicroSense UltraMap UMS-200-BP是一款半自動化晶圓測量系統,可測量任何材料的晶圓和襯底的厚度和TTV,電阻率,厚度和表面狀況,並具有出色的可重複性。
智能自動晶圓厚度量測設備
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多功能晶圓量測儀,採上下高精度白光共軛焦感測器,進行晶圓之厚度、翹曲度、弓度等量測。可自定義量測點數,軟體內建點數路徑,包含5點、9點、37點及自定義點數, ...