無塵室mau:了解無塵室中三個主要空調設備MAU、DCC、FFU
了解無塵室中三個主要空調設備MAU、DCC、FFU
FFU?DCC?MAU?這些是什麼?無塵室為何需要?
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MAU主要負責功能為控制露點、製造無塵空氣,並確保無塵室保持正壓。 在無塵室空調系統需由外界引入恆溫恆濕的新鮮空氣,因此必須透過MAU冷凝除濕、將空氣絕對濕度調節至符合 ...
台積公司改裝無塵室外氣空調箱
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... 無塵室中的外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit, MAU)洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計,截至民國111年5月,共完成既有廠區266台外氣空調箱濕模板 ...
6分鐘認識冷凍空調常見專有名詞〡AHU、MAU、DCC一篇 ...
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MAU(外氣空調箱)和AHU(空調箱)最大的差異為MAU(外氣空調箱)進氣的空氣100%為外部的新鮮空氣,而AHU(空調箱)進氣的空氣則包含原本室內空氣(回風裝置)+外部的新鮮空氣二種混合 ...
無塵室的濕度控制
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1.無塵室內空調負荷經估算確認並排除濕製程區域,可免除濕及再熱功能。 · 2.無塵室內以分散乾盤管( Dry Cooling Coil )或RAU空調箱控制室內溫度,當MAU穩定供應設定露點之補氣 ...
無塵室系統
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6.AHU故障嚴重影響無塵室運轉. 外氣空調箱(MAU)+FFU+Dry Coil系統. 特點: 1.雙層天板內空間為微負壓chamber 2.適用CLASS 1K~1 3.無塵室升級容易 4.建造成本較高、運轉 ...
無塵室壓力調降
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該廠利用MAU VFD(變頻器)調整風車運轉頻率,將馬達轉速降低,減少無塵室內的. OA(Outside Air)補氣量,以降低無塵室正壓,並可同時減少OA 降溫除濕所須知冰水. Page 8. 2. 用量 ...
外氣空調箱MAU最佳化設計
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因降低GENERAL EXHAUST而對無塵室增加的負荷,. 則可藉由降低MAU的出風溫度來補償。 預估可減少二氧化碳量為: 498,120*( ...
外氣空調箱MAU
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正因為Particle是構成半導體製品發生缺陷降低產品良率的主要原因之一,外氣空調箱(MAU)換氣量體,掌握無塵室內Particle的大小及數量多寡,為設計及管理無塵室所需掌控的要因, ...