蝕刻選擇性:蝕刻技術(Etching Technology)www.tool
蝕刻技術(Etching Technology)www.tool
Ch9 Etching
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選擇性蝕刻或整面全區蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓 ... ▫ 高選擇性; 等向性蝕刻. 物理蝕刻. ▫ 用鈍性離子如Ar+進行轟擊. ▫ 從表面物理性 ...
乾蝕刻技術
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電漿蝕刻同時進行,所以具有某種程度的非等向性蝕刻,而且選擇性足. 以讓人接受,所以應用比較廣,下圖是活性離子蝕刻系統的示意圖。 射頻電源. 晶片. 進氣. 氣體. 流量控制.
北美智權報第110期:TRIZ與半導體製程技術(二)
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... 蝕刻「選擇性」(或稱選擇比,Selectivity)則遜於濕蝕刻技術,本案中業界所謂的蝕刻選擇性,就是不同物質間蝕刻速率的差異比較值。 圖一為一進行乾蝕刻 ...
蝕刻技術
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要蝕刻, 氧化膜的蝕刻速率. 是0.40μm/min, 氧化膜對矽的蝕刻選擇比為25比1, 如果 ... 以活性離子蝕刻. 為例,就是利用電漿放電方式進. 行異向性蝕刻的方法。 ▫ 在電漿的 ...
選擇性蝕刻
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選擇性蝕刻應用的配方成分 Envure SE™ 的配方成分是很多用於矽濕蝕刻應用的關鍵配方的基礎。 讓我們來協助您調整它們在個別應用中的成分。
選擇性蝕刻産品系列
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Lam 推出的選擇性蝕刻解决方案能夠從晶圓表面等向性地去除材料,不會改造或損壞週邊的材料。具備超高選擇性和埃米等級精密度的選擇性蝕刻解决方案,是Lam專為滿足晶片 ...
選擇性製程
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選擇性蝕刻與沉積技術可用於建立並塑造微小的圖案;製造新穎的結構;並克服了技術障礙,例如濕製程導致的圖案塌陷、圖案化過程中的邊緣放置誤差、以及電晶體接點與導線電阻的 ...
金屬蝕刻是什麼?瞭解金屬蝕刻原理、製程、加工應用領域與 ...
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其中最大特點是「方向性蝕刻」,意味著能夠精準地控制蝕刻方向,創造出清晰的邊緣和平滑的表面。不過,乾蝕刻的選擇性不如濕蝕刻,可能會影響到非目標材料,例如光阻,這是因為其 ...