乾式真空幫浦原理：半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作
半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作
Vacuum dry pump快速檢測異常原因?
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乾式真空泵原理真空泵主要藉由高速轉子壓縮氣體或動能傳遞將氣體排出，乾式泵浦主要有魯式、螺旋（screw）、挖爪（claw）、分子曳引（molecular drag）與渦輪分子等型式。 轉子高達數千至數萬rpm，抽氣速率遠大於機械迴轉泵浦。 半導體製程設備中，有許多需要利用真空泵的製程。
乾式幫浦(dry pump)
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乾式幫浦主要有魯式、螺旋 (screw)、挖爪(claw)、分子曳引(molecular drag)與 渦輪分子等型。 主要是藉著高速轉子壓縮氣體或動能傳 遞將氣體排出,因爲非接觸型,轉速高達數 ...
乾式真空幫浦(Dry Pump) 無油式真空泵浦
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而乾式真空幫浦是甚麼呢？ 乾式真空幫浦顧名思義就是在幫浦進氣、壓縮及排氣行程中，轉子運動過程沒有任何油脂潤滑或密封。 也正因為氣體沒有接觸到油脂，乾式真空幫浦可 ...
乾式真空泵
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所謂的乾式真空泵，是一種不使用油或液體進行密封的非接觸型真空泵。水或油不會逆流或擴散，可以獲得乾淨的真空。且無須進行水或油的補充與更換等定期維護， ...
亞台富士精機股份有限公司乾式螺旋真空幫浦操作技術說明書
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本公司生產的乾式螺旋真空幫浦，為正排量式的真空流體機械，主結構為兩支一體成型的螺旋轉子，彼此不接觸，. 相互嚙合旋轉，機體內部抽氣結構為無油設計，此幫浦在抽真空 ...
真空機械幫浦原理解說及維修
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真空幫浦之操作原理是由機械式動作自真空腔室中抽氣,接著在幫. 浦中進行氣體傳輸、壓縮、排氣之行程,達到抽真空的效果。由抽. 氣機構中幫浦腔室中是否含有油脂等液體, ...
第一節真空幫浦
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渦卷式乾式幫浦抽氣原理. 11. 第三節高真空到超高真空抽氣用的幫浦. 真空系統的真空度達高真空範圍後氣體的分子密度相對減. 真空系統的真空度達高真空範圍後氣體的分子 ...