euv光刻機原理：極紫外光微影製程
極紫外光微影製程
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EUV光刻机
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首先是激光器发光，经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台，上面放的就设计公司做好的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台，这里放的就是8寸或者12英寸晶圆 ...
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EUV光刻机3大核心：2大来自德国，1大来自美国，ASML负责 ...
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什麼是EUV光刻機？為什麼大家都在追求它？
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而光刻的工作原理，大家可以想像一下膠片照片的沖洗，掩膜版就相當於膠片，而光刻機就是沖洗台，它把掩膜版上的芯片電路一個個的複製到光刻膠薄膜上， ...
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全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光
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簡單來說，當工程師規劃好晶圓上各區域的功能後，會將電路圖刻在石英片上面，製作成「光罩」，當光束從光罩上方照下來，透過由透鏡組成的光學系統，照射到 ...
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藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
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EUV光刻的一大挑戰在於產生13.5奈米的最佳波長光束。解決方案：透過雷射射束生成提供極短波長光束的發光電漿。但如何先形成電漿？發生器讓錫 ...