tddb量測:CN106409817A
CN106409817A
元件可靠度
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Dependent Dielectric Breakdown, TDDB)測. 試,其方法為加一固定電壓在氧化層上,. 然後測量流經氧化層的電流,當電流超過. 某一臨界值(例如:1µA)時,即可判定. 氧化層 ...
高介電常數閘極介電層TDDB 崩潰行為之研究
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TDDB (Time. Dependent Dielectric Breakdown)。在半導體可靠度裡,是一個研. 究故障機制的重要方法,量測的目的就是要檢測出閘極介電 ...
高介電常數閘極介電層TDDB崩潰行為之研究
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TDDB (Time Dependent Dielectric Breakdown)。在半導體可靠度裡,是一個研究故障機制的重要方法,量測的目的就是要檢測出閘極介電層的生命 ...
鰭式電晶體閘極介電層可靠度之研究
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時依性介電層崩潰(TDDB)以N型鰭式電晶體探討,針對氧化層內陷阱討論介電層的退化與崩潰特性,經由量測閘極的應力導致漏電流(SILC)的結果,N型鰭式電晶體的應力導致漏電流增長 ...
第六章二氧化鉿薄膜的崩潰機制和可靠度
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本章量測並討論二氧化鉿薄膜的崩潰機制和可靠度,我們量測了二氧. 化鉿電容的崩潰電場和在負偏壓操作下的可靠度,即時間相關介電層崩潰. 測試(Time Dependent Dielectric ...
CN113049921A
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常规TDDB测试是在待测电介质样本的一端施加电压源,另一端接地端,持续监测通过待测电介质样本的电流,一旦待测电介质样本发生击穿引起电路短路,就会监测到突然跳变的 ...
TDDB (Time
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The TDDB Evaluation System has a SM module per channel to enable voltage and current output and monitoring. The SM module comprises one board of four SMUs, with ...
IC產品可靠度簡介
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如介電層崩潰測試TDDB(Time-. Dependent Dielectric Breakdown)、熱載子. 注入測試 ... 此測試目的在利用高溫及電壓加速測. 試,來評估IC產品的長時間的操作壽命 ...