旋轉 塗佈 公式：旋轉塗佈薄膜的流體力學與質量傳輸數值研究
旋轉塗佈薄膜的流體力學與質量傳輸數值研究
旋轉塗佈技術簡介
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旋轉塗佈為利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗. 料進行厚度均勻化的製程。 Page 5. 旋轉塗佈步驟. Step1：Substrate on Vacuum Chuck. Step ...
旋轉塗佈機的概要
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... 塗佈為代表的製程到光盤的鍍膜、鏡頭的底漆和調光液塗佈等。 利用旋轉塗佈機的塗佈. 利用旋轉塗佈機的塗佈. A. 旋轉體; B. 被塗佈物體表面; C. 塗佈液體. 以被塗佈物體 ...
旋轉塗覆
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《旋轉塗覆》（英語：Spin coating）是一種高速成膜方法，可以得到均勻的薄膜，均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備。它利用旋轉產生的離心力，將溶膠、溶液或懸 ...
旋轉塗佈法
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旋轉塗佈法已在半導體業界行之有年，是成長基板薄膜最節省成本且最適合大量生產的一種方法。
大面積基板塗佈製程解析
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旋轉塗佈是流體離心力與黏滯力 平衡的結果，光阻在基板上的厚度依黏 度、轉速及旋轉時間而定。
旋轉塗佈光阻液厚度及均勻度實驗分析
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在積體電路的製程中，利用光阻覆蓋機產生旋轉塗佈後的光阻液薄膜，決定了晶片電路曝光及顯影品質的優劣，也關係到整個積體電路的成敗。在晶圓表面上所形成的薄膜（厚度約 ...
旋转涂布法
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1.旋转涂布法，它是从喷嘴顶端吐出涂布液并将涂布液滴加于旋转中的基材表面而在基材表面形成均一涂膜的旋转涂布法，其特征在于，. 涂布液吐出时喷嘴顶端与基材表面的距离为2.5 ...
如何確認鍍膜製程coating 的設備穩定度？
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旋轉塗佈機（spin coater）原理 旋轉塗佈屬於濕式鍍膜，其基材（矽晶圓片或其他平滑物件）以真空接吸方式，於物件中心落下塗佈液體，利用旋轉離心力的方式平均散布液體於 ...