光阻劑：半導體光阻材料技術
半導體光阻材料技術
光阻劑
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我們的光阻劑是光敏感有機化合物，用來在表面形成圖案式塗層，主要用於生產積體電路和用於顯示器面板。我們材料的知名特色，是在大型玻璃基板上具有高度一致的塗料品質。
光阻劑
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• 顯影劑溶解光阻軟化之部分，並將光罩或. 倍縮光罩上的圖案轉到光阻上. • 三個基本步驟: 顯影, 洗滌, 旋乾. 正光阻. 負光阻. 顯影劑. TMAH. 二甲苯. 洗滌. 去離子水. 乙酸 ...
光阻劑
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光阻劑（英語：photoresist），亦稱為光阻或光阻劑，是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射後，溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料，是微影製程中的關鍵 ...
光阻劑
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光阻劑| Envure DV™ · 光阻劑應用的配方成分 · Envure DV™ 成分可以幫助解決小型尺寸帶來的新挑戰，如刻線邊緣粗糙度和圖案傾塌（下面是參考文獻）。 · Envure DV™ 322
光阻劑是什麼？光阻劑和去光阻劑成分、差異
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光阻劑（也稱為光阻），主要應用於電鍍或蝕刻等工業製程中，光阻劑一般為高分子、溶劑、光感劑等成分組成的光敏材料，並透過光反應刻上結構圖形，是影響半導體製程生產效率的關鍵 ...
光阻劑是什麼？本篇報給你知！
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光阻，亦稱為光阻劑，是一個用在許多工業制程上的光敏材料。像是光刻技術，可以在材料表面刻上一個圖案的被覆層。 ... 正向光阻是光阻的一種，其照到光的部分會溶於光阻顯影液，而 ...
半導體用光阻劑之發展概況
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光阻劑(Photoresist)是一種光敏感材料，由樹脂、光敏感劑、溶劑和添加劑等組成，根據曝光顯影後的變化，分為正型(Positive type)光阻劑和負型(Negative type) ...
安全資料表
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一、化學品與廠商資料. 化學品名稱：光阻稀釋劑（OK-73）. 其他名稱：稀釋液(光刻顯像稀釋劑)、EBR7030、PP-73、PM Thinner. 建議用途及限制使用：光阻稀釋劑、光阻清潔劑.