low k半導體：Low k、High k到底在幹嘛？
Low k、High k到底在幹嘛？
Low
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所謂low-k（低介電常數值）就是指介電常數（dielectric constant）比較小的材料，因為這種材料允許晶片內的金屬導線可以互相緊密地貼近，而且在晶片內，不會 ...
Low-k膜開槽加工
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廣泛應用於高速Logic元件絕緣層的Low-k膜，因機械性質強度低，若使用一般刀片切割的加工方式，常有Low-k膜剝落的現象發生。 故移除Low-k膜及下方配線層時，常使用雷射機 ...
什麼是低介電材料? 有機樹脂或是無機填料，原來應用大不同!!
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在5G高頻通訊的快速發展，以及未來萬物聯網的科技浪潮下，降低電子產品的介電常數，使用低介電常數（low K）材料成爲減少信號遲滯時間的重要手段。 顧名思義，低 ...
低介電係數材料
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低介電係數材料（low-K材料）是當前半導體行業研究的熱門話題。通過降低積體電路中使用的介電材料的介電係數，降低導線之間的電容效應，降低積體電路發熱等等。低介電係數 ...
低介電常數材料於積體電路
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低導線電阻及增強抗電致遷移. 的能力﹔ 而使用低介電常數. (Low-k)材料取代二氧化矽（介. 電常數約為3.9）. 做為金屬間介電. 層，得以有效降. 低電路中的寄生. 電容，如圖二所.
半導體IC絕緣膜面臨技術革新
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工程採用銅取代鋁，層間絕緣膜則採用. 低介電(Low-K)材料取代二氧化矽，這. 些技術動向已正式運用且量產化。所搭. 配平坦化的CMP（化學機械研磨）設. 備則必須是採低壓研磨。
所謂low
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所謂low-k（低介電值）就是尋找介電常數較小的材料，以降低導線間電流的互相干擾作用，進而提升IC內導線的傳輸功能。 由於電路信號傳遞的快慢是決定在電阻(R)與電容(C) ...