旋轉塗佈製程最適化研究:轉速對旋轉塗佈液膜穩定的影響
轉速對旋轉塗佈液膜穩定的影響
Provide From Google
Item 98765432144951
http://ir.lib.ncu.edu.tw
半導體製程中之液體(光阻)旋轉塗佈的原理乃是藉由晶圓旋轉所產生之離心力,將晶圓上之液體均勻塗佈於晶圓表面。雖然離心力一方面可以讓液體可以均勻的 ...
Provide From Google
旋轉塗佈製程最適化研究
https://ndltd.ncl.edu.tw
論文摘要旋轉塗佈技術現正廣泛的運用於半導體製程中的薄膜製造,雖然其所製作的薄膜均勻度佳,卻會在基材板邊產生突起物,造成基材可用區域減小。為改善此現象,本文根據 ...
Provide From Google
旋轉塗佈製程最適化研究
https://ir.lib.nchu.edu.tw
旋轉塗佈技術現正廣泛的運用於半導體製程中的薄膜製造,雖然其所製作的薄膜均勻度佳,卻會在基材板邊產生突起物,造成基材可用區域減小。為改善此現象,本文根據商用大型 ...
Provide From Google
旋轉塗佈製程最適化研究
https://thesis.imobile01.com
《旋轉塗佈摻雜之均勻性探討》哪裡下載?該論文是張勝聿於107年畢業於國立中央大學材料科學與工程研究所之碩士論文,以下為...
Provide From Google
旋轉塗佈製程研究
https://scholars.lib.ntu.edu.t
標題: 旋轉塗佈製程研究 ; 作者: 顏溪成 ; 公開日期: 1994 ; 出版社: 臺北市:國立臺灣大學化學工程學系暨研究所 ; URI: http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/8804.
Provide From Google
第一章緒論
https://ir.nctu.edu.tw
而共軛高分子溶於液態,主要是以旋轉塗佈(spin coating)或浸塗法(dip coating)來製作高分子薄膜。近年來也有人利用噴墨式製程技術(Ink-Jet Printing; IJP)來製.