半導體純水:半導體製程「超純水」怎麼來?Intel 用這三點搞定自家用水怪獸
半導體製程「超純水」怎麼來?Intel 用這三點搞定自家用水怪獸
![半導體產業國際水質規範與對製程影響](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E7%94%A2%E6%A5%AD%E5%9C%8B%E9%9A%9B%E6%B0%B4%E8%B3%AA%E8%A6%8F%E7%AF%84%E8%88%87%E5%B0%8D%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E5%BD%B1%E9%9F%BF+-+%E9%BB%98%E5%85%8BMilli-Q%E8%B6%85%E7%B4%94%E6%B0%B4.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體產業國際水質規範與對製程影響
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台灣是世界知名的半導體王國,半導體產業占了GDP將近15% (資料來源:台灣經濟研究院2020數據),在半導體產業中,許多製程需要使用到超純水,一如摩爾 ...
![服務產業](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%9C%8D%E5%8B%99%E7%94%A2%E6%A5%AD%7C%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E7%9B%B8%E9%97%9C%E7%94%A2%E6%A5%AD+-+%E5%8F%B0%E7%81%A3%E7%B4%94%E6%B0%B4%E7%A7%91%E6%8A%80%E8%82%A1%E4%BB%BD%E6%9C%89%E9%99%90%E5%85%AC%E5%8F%B8.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
服務產業
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半導體工業從磊晶,積體電路製造,至晶圓的封裝等,都必須使用大量的超純水。尤其在積體電路製造(晶圓廠),其製程包括光罩,蝕刻,薄膜沈積等,通常要經過數百道; ...
![科技廠製程用去離子水・無菌超純水系統](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E7%A7%91%E6%8A%80%E5%BB%A0%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E7%94%A8%E5%8E%BB%E9%9B%A2%E5%AD%90%E6%B0%B4%E3%83%BB%E7%84%A1%E8%8F%8C%E8%B6%85%E7%B4%94%E6%B0%B4%E7%B3%BB%E7%B5%B1.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
科技廠製程用去離子水・無菌超純水系統
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有別於[純水] 的應用,超純水因水質要求更高,常用於半導體業、生化業、製藥業、食品業、核電廠等水中的蒸發殘留物數以ppb 為單位,若水中有離子、微粒子、微生物、 ...
![純水與超純水有哪些差異?](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E7%B4%94%E6%B0%B4%E8%88%87%E8%B6%85%E7%B4%94%E6%B0%B4%E6%9C%89%E5%93%AA%E4%BA%9B%E5%B7%AE%E7%95%B0%EF%BC%9F+-+%E9%9B%B7%E9%8A%AB%E7%A7%91%E6%8A%80.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
純水與超純水有哪些差異?
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「超純水」的定義:一般指經離子交換樹脂、活性碳、濾膜法去除水中的主要不純物質,而其比阻抗值達到18.2 MΩ.cm的水。
![超純水](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E8%B6%85%E7%B4%94%E6%B0%B4-+%E7%B6%AD%E5%9F%BA%E7%99%BE%E7%A7%91%EF%BC%8C%E8%87%AA%E7%94%B1%E7%9A%84%E7%99%BE%E7%A7%91%E5%85%A8%E6%9B%B8.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
超純水
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超純水(Ultrapure water)極為接近高純度的水,即除了氫離子與氫氧根離子,幾乎沒有任何其他電解質存在的水。在製造處理過程後能盡可能將溶在水中或在水中散播的各種 ...
![超純水是最純淨的水嗎?](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E8%B6%85%E7%B4%94%E6%B0%B4%E6%98%AF%E6%9C%80%E7%B4%94%E6%B7%A8%E7%9A%84%E6%B0%B4%E5%97%8E%3F+-+ASYS%E8%80%80%E7%BE%A4%E7%A7%91%E6%8A%80.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
超純水是最純淨的水嗎?
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理論上,超純水(UPW)是已純化至最高規格的水。水體僅含H2O分子,以及數量平衡的H +和OH-離子,理論電阻率為18.2MΩ.cm,做為標準TOC ...
![超純水製造技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E8%B6%85%E7%B4%94%E6%B0%B4%E8%A3%BD%E9%80%A0%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
超純水製造技術
https://saturn.sipa.gov.tw
注射用水的水質雖較低於半導體製程的超純水,但對於生菌及內毒素的. 〝零〞要求遠超過超純水。注射用水必須要能通過日本藥典的無菌試驗,生菌. 及內毒素是生產的管理重點。