靜電吸盤應用：技術應用

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使用靜電吸盤之優勢如下：. 1、為整接觸面吸附，可吸附鏤空箔板。 2、使用靜電力吸附，可在真空環境下使用。 3、傳統機械夾持邊緣會有夾痕，靜電吸盤無此問題。

什麼是靜電吸盤

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大家使用的電腦、智慧型手機、汽車、家電用品等等許多電子產品，內部是由『IC晶片』所驅動。IC晶片為半導體製程中的基板材料，而不管是真空環境或是大氣環境下，『靜電吸盤 ...

什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

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無線吸盤Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動做傳輸載具應用，可提供薄化晶圓或薄型玻璃的形狀或硬度補強。 ​專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多 ...

介電材料之靜電吸盤吸附力探討

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靜電吸盤（Electrostatic Chuck,ESC）已經廣泛的被半導體界所使用，而現在更應用到其他的業界中，例如應用在面版廠中可拿來固定ITO導電玻璃。此零組件之應用範圍日漸 ...

介電材料之靜電吸盤吸附力探討

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靜電吸盤（Electrostatic Chuck,ESC）已經廣泛的被半導體界所使用，而現在更應用到其他的業界中，例如應用在面版廠中可拿來固定ITO導電玻璃。此零組件之應用範圍日漸 ...

半導體蝕刻機所用靜電盤為何?

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半導體靜電盤應用. 半導體蝕刻機為寡占市場，主要供應商有TEL、應材、科林（LAM）等大廠，一部蝕刻機價格上億元，其內部的關鍵零件自然不便宜，以靜電吸盤（ESC）為 ...

多物理仿真應用於靜電吸盤之晶圓熱傳分析

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本文並探討一大尺寸的靜電吸盤(299mm)，相較於氧化鋁吸盤(299mm)，其不利於利用氣壓控制溫度均勻度及高溫的特性，指出其氮化鋁吸盤(299mm)具有ㄧ最佳的熱傳效果，並能有效 ...

靜電吸盤產品資訊

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靜電吸盤的優勢

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透過與客戶緊密的合作與交流，我們開發出最佳化的靜電吸盤解決方案, 不僅可使用在半導體行業, 其吸附能力亦可應用在絕緣體及多種材料。 Manufacturing process ...