euv製程:極紫外光EUV微影是什麼?影片直擊台積電拚5奈米的關鍵 ...
極紫外光EUV微影是什麼?影片直擊台積電拚5奈米的關鍵 ...
![Centura Tetra EUV 先進光罩蝕刻系統](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/Centura+Tetra+EUV+%E5%85%88%E9%80%B2%E5%85%89%E7%BD%A9%E8%9D%95%E5%88%BB%E7%B3%BB%E7%B5%B1.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
Centura Tetra EUV 先進光罩蝕刻系統
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極紫外線(EUV) 光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV 光源波長比目前深紫外線微影製程的光源波長短少約15 倍,因此能持續將線 ...
![EUV 極紫外光!一個你應該知道與台積電相關的技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/EUV+%E6%A5%B5%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%EF%BC%81%E4%B8%80%E5%80%8B%E4%BD%A0%E6%87%89%E8%A9%B2%E7%9F%A5%E9%81%93%E8%88%87%E5%8F%B0%E7%A9%8D%E9%9B%BB%E7%9B%B8%E9%97%9C%E7%9A%84%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
EUV 極紫外光!一個你應該知道與台積電相關的技術
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新聞常在報的 五奈米、三奈米先進製程、 EUV 微影技術等等,不清楚代表什麼意思,不用擔心,這次稍微帶大家輕鬆認識下這個我們最熟悉的陌生人。
![EUV技術是摩爾定律「續命丹」?](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/EUV%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%98%AF%E6%91%A9%E7%88%BE%E5%AE%9A%E5%BE%8B%E3%80%8C%E7%BA%8C%E5%91%BD%E4%B8%B9%E3%80%8D%EF%BC%9F.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
EUV技術是摩爾定律「續命丹」?
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而在中國之外,只有英特爾、三星與台積電會在邏輯製程採用EUV;此外三星、海力士(SK Hynix)與美光(Micron)等記憶體業者也會將EUV用於DRAM製程。 跨越3奈米 ...
![EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/EUV%E6%98%AF%E5%80%8B%E4%BB%80%E9%BA%BC%E9%85%B7%E6%9D%B1%E8%A5%BF%EF%BC%9F+%E2%80%94+%E6%B1%BA%E5%AE%9A%E6%9C%AA%E4%BE%86%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E5%85%88%E9%80%B2%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E7%9A%84%E9%97%9C%E9%8D%B5%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
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微影製程(Lithography) 的本質就是讓光穿透光罩,把設計好的圖案映射在晶圓上面,因此我們會希望光在穿透光罩的過程中不要產生繞射,而讓原本的圖案變形。
![全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%85%A8%E7%90%83%E7%98%8B%E6%90%B6EUV+%E6%9B%9D%E5%85%89%E6%A9%9F%EF%BC%81%E7%A9%B6%E7%AB%9F%E6%98%AF%E6%91%A9%E7%88%BE%E5%AE%9A%E5%BE%8B%E7%9A%84%E6%95%91%E5%91%BD%E6%9B%99%E5%85%89+-+%E7%A7%91%E6%8A%80%E9%AD%85%E7%99%AE.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
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極紫外光(Extreme ultraviolet, EUV)是波長小於13.5 奈米的光,使用EUV 作為光源的曝光機,即為EUV 曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少, ...
![挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%8C%BD%E6%95%91%E6%91%A9%E7%88%BE%E5%AE%9A%E5%BE%8B%EF%BC%9AASML+%E6%A5%B5%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%EF%BC%88EUV%EF%BC%89%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E6%8A%80%E8%A1%93%E9%87%8F%E7%94%A2%E7%9A%84%E9%96%8B%E7%99%BC%E6%AD%B7%E7%A8%8B.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程
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EUV 光的產生是用二氧化碳雷射每秒5 萬次去轟擊液態錫滴。出來的EUV 光通過一個直徑為0.65 公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。錫滴位於橢球反光 ...
![極紫外光微影製程](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%A5%B5%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E8%A3%BD%E7%A8%8B+-+%E7%B6%AD%E5%9F%BA%E7%99%BE%E7%A7%91.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
極紫外光微影製程
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極紫外光微影(英語:Extreme ultraviolet lithography,EUVL)又稱作超紫外線平版印刷術, 是一種使用極紫外光(EUV)波長的微影製程(lithography)技術,目前用於7奈米 ...