磊晶技術:磊晶
磊晶
SiC晶圓製造究竟難在哪?
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但規模化生產製造SiC晶片,達到低微管密度或零缺陷品質還存在一些技術製程問題。 SiC元件製造必須要經過磊晶步驟,磊晶品質對元件性能影響很大。SiC基元件 ...
分子束磊晶技術之發展與磁性薄膜之製備應用
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近來分子束磊晶技術不僅. 為物理與表面科學研究開創了新的領域,並拓展了. 材料科學與電子元件發展的技術與空間。 二、分子束磊晶系統簡介. 本文以本實驗室之分子束磊晶 ...
化合物半導體之分子束磊晶技術
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本文介紹三五族化合物半導體分子束磊晶系統的裝置設備,包括真空系統、分子束. 源、基板操控器與即時量測設備。本文同時也介紹了兩項近期的發展,包括含銻化合物半導. 體與 ...
有機金屬氣相磊晶系統及技術簡介
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本文以深入淺出之方式,介紹有機金屬氣相磊晶(MOVPE) 系統之構造及其基本原理。自. 1968 年Manasevit 發明此種磊晶技術以來,由於MOVPE 系統可以大量成長化合物半導體 ...
磊晶(晶體)
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磊晶(英語:Epitaxy),是指一種用於半導體器件製造過程中,在原有晶片上長出新結晶以製成新半導體層的技術。此技術又稱外延成長(Epitaxial Growth),或指以外延 ...
磊晶(晶體)
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磊晶(英語:Epitaxy),是指一種用於半導體元件製造過程中,在原有晶片上長出新結晶以製成新半導體層的技術。此技術又稱磊晶成長(Epitaxial Growth),或指以磊晶 ...
第3類半導體晶片怎麼做?基板難在哪?圖解生產流程
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磊晶是指透過在原有的基板上,長出薄薄一層結晶,以達到強化工作效能的目標。通常在磊晶過程中,會經過2個步驟:先在基板表面沉積化學物質,而後才會在 ...