伺服馬達應用實例:SERVO應用案例

SERVO應用案例

SERVO應用案例

此案例為士林中空軸伺服馬達應用於半導體製程設備使用SDE驅動器搭配中空軸馬達,抽真空管線可穿越馬達軸心連接真空平台,透過真空吸附晶圓轉動,再配合進行化學藥劑 ...。其他文章還包含有:「伺服馬達」、「伺服馬達控制原理」、「傅玉昌」、「台達交流伺服系統應用於移載設備」、「應用案例」

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