euv光罩：斷鏈為什麼是台廠「百年難得一見的機會」？EUV光罩盒霸主 ...
斷鏈為什麼是台廠「百年難得一見的機會」？EUV光罩盒霸主 ...
Centura Tetra EUV 先進光罩蝕刻系統
https://www.appliedmaterials.c
極紫外線(EUV) 光罩是以新式微影系統，透過高能量、短波長的光源，將電路圖案轉印到晶圓。EUV 光源波長比目前深紫外線微影製程的光源波長短少約15 倍，因此能持續將線 ...
TWI444757B
https://patents.google.com
本發明進一步提供一種用於EUV微影術的反射性空白光罩，其包含基材及依下列順序形成在該基材上之用於反射EUV光的反射層及用於吸收EUV光的吸收層，其中該吸收層含有鉭(Ta)、 ...
【半導材料MIT】光罩盒全球龍頭遭美國材料商割喉家登攜手耐 ...
https://www.mirrormedia.mg
家登是全球極紫外光光罩盒（EUV Pod）的最大供應商，包括擁有全球最多EUV機台的台積電及英特爾（Intel）、三星（Samsung）等都是客戶，「我們全球市佔 ...
京鼎3奈米半導體設備通過驗證EUV光罩機台量產
https://tw.stock.yahoo.com
此外，京鼎極紫外光（EUV）光罩自動化設備也開始上線量產。 京鼎在營業報告書中指出，旗下半導體主動式微污染防治、層流氣簾潔淨方案與機能水生成設備皆跟 ...
全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光
https://www.charmingscitech.na
... 光罩」，當光束從光罩上方照下來，透過由透鏡組成的光學系統，照射到塗布了光阻的晶圓後，再進行顯影、蝕刻和清洗，就可以將圖案從光罩轉移到晶圓上。
台積電核准不超過美金4.328億元持股10％EUV光罩設備公司IMS
https://ec.ltn.com.tw
台積電表示，2012年以來，公司與IMS合作開發支援先進製程技術的多重電子束光罩寫入設備，此項投資延續台積電與IMS之間的長期合作夥伴關係，以加速創新並 ...
極紫外光微影製程
https://zh.wikipedia.org
EUV光罩與傳統光罩也截然不同，具複合多塗層反射鏡(分散式布拉格反射器)的光罩可將電路圖案反射到晶圓上。這種多層膜光罩雖然可維持光罩的反射率，但另一方面會影響 ...