epi wafer優點：磊晶缺貨客戶要貨只能給一半
磊晶缺貨客戶要貨只能給一半
TWI496962B
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本發明之方法及裝置的另一個優點在於，可非常精確地加工該環，特別是在其尺寸及其粗糙度方面。因此，可改善本發明裝置使其合於該半導體晶圓，此亦可避免在該半導體晶圓的 ...
TWI534306B
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本發明是有關於一種磊晶晶圓(epitaxial wafer)的製造方法及磊晶晶圓，尤其是有關於一種製造抑制磊晶缺陷的形成且具有優異的吸除(gettering)能力的磊晶晶圓的方法。
台灣矽晶圓材料產業分析與競爭策略之研究
https://ir.nctu.edu.tw
如果在生. 產晶圓表面透過化學氣相沉積反應，長一層約數微米的單晶薄膜，就成為高附加. 價值的矽磊晶圓（Epitaxial Wafer）。 ... 材料的可能性不大，但其諸多優點與研究機構 ...
矽晶圓材料市場現況及未來發展趨勢
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若是從2002年的需求值分析矽晶圓種類分佈，則拋光矽晶圓（含prime及測試晶圓）佔了將近七成比例，其餘為磊晶矽晶圓（epitaxial wafer），前者2002年成長率有10.8％，後者則 ...
矽晶圓製造業資源化應用技術手冊
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（Epi-Wafer），生產晶圓及磊晶圓幾乎都集中在矽晶圓棒的中間部分。矽晶棒所. 切割 ... 表5.3-2 氣態廢溶劑回收技術之優缺點比較. 技術名稱. 優點. 缺點. 低溫冷凝法經濃縮後 ...
矽磊晶圓、積體電路及電晶體的專業代工廠
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漢磊主要的三種產品的產能方面，EPI由於並無機台擴充的計劃，因此產能增加較多的部分在Bipolar與CMOS；Bipolar由今年第四季的43,500片增加31.03%到明年第 ...
磊晶(晶體)
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磊晶技術可用以製造矽電晶體到CMOS積體電路等各種元件，尤其在製作化合物半導體例如砷化鎵磊晶晶圓（英語：Epitaxial wafer）時，磊晶尤其重要。 磊晶成長技術的種類 ...
第一章晶體性質與半導體成長
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1960年代，矽(Si)取代鍺之地位。 優點：(1)較低之漏電流。 ( ). (2)矽氧化物不溶於水。 (3)矽氧化層製造容易(加熱即可). (3)矽氧化層製造容易(加熱即可)。 (4)價格便宜 ...
第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性
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次磊晶爐(Epitaxial reactor)則可製成. 研磨晶圓成長成為磊晶晶圓，其用途. 更為特殊 ... 其好處為可以解決. 晶圓尺寸愈來愈大趨勢，因為批次式反應室所能處理的晶圓片數愈 ...