euv極紫外光：EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
極紫外光微影製程
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極紫外光微影（英語：extreme ultraviolet lithography，中國大陸稱為極紫外光刻，簡稱「EUV」或「EUVL」）又稱作超紫外線平版印刷術, 是一種使用極紫外光波長的微影 ...
全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光
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許多人將救命目光投向了「極紫外光曝光機」。 極紫外光（Extreme ultraviolet, EUV）是波長小於13.5 奈米的光，使用EUV 作為光源的曝光機，即為EUV 曝光機 ...
ASML
https://www.asml.com
EUV 極紫外光微影技術. ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源，並推動EUV微影系統商用化，20多年來，ASML持續投入研發，克服各種 ...
極紫外輻射
https://zh.wikipedia.org
極紫外輻射（英語：Extreme ultraviolet radiation）又稱極紫外光或高能紫外線輻射，簡稱EUV、XUV，是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射，對應光子能量為10eV到124eV。
藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
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製造晶片時TRUMPF高功率雷射放大器發揮關鍵作用：因為藉助它可生成發光等離子體，從而提供極紫外光(EUV) 曝光晶圓。 ... 是所生成極紫外(EUV) 光的波長，實現尺寸低於10奈米 ...
挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程
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EUV 光的產生是用二氧化碳雷射每秒5 萬次去轟擊液態錫滴。出來的EUV 光通過一個直徑為0.65 公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。錫滴位於橢球反光 ...
極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術
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然而隨著摩爾定律逐漸走到物理極. 限，傳統技術已無法繼續微縮晶片，此時極紫外光(EUV)微影機就在眾多技術下. 突破重圍並且克服諸多困難被開發出來，繼續引領半導體產業 ...
台積電超殺利器！ASML最強機台天價曝光大到用三架747運送
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... 極紫外光（EUV）設備需求大增。外媒報導，獨家供應半導體微影設備大廠艾司摩爾（ASML）新一代High-NA EUV 設備飆出新天價，由於機台比前一代還要大30 ...