xcda氣體:高階製程微汙染防治傳載系統

高階製程微汙染防治傳載系統

高階製程微汙染防治傳載系統

改造原有之300mmLoadport盤面,加裝N2/XCDA充氣淨化功能。•支持各類型FOUP...氣體顆粒過濾等級≥0.003um。•支持EAP由CIM統一控管,整合AMHS自動化作業。•具備 ...。其他文章還包含有:「CDA」、「Entegris」、「PurgGardTM」、「PX—XCDA纯化器」、「Teesing著重於KMWE無塵室中特殊氣體的連接」、「先進製程晶圓氣體充填系統」、「晶圆传送容器的净化」、「晶圓盒濕度控制之實驗研究」、「用戶端的可行作為」

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CDA
CDA

https://www.sgs.com.tw

所謂壓縮乾燥氣體(CDA)是取之於大氣經壓縮機壓縮後除溼,再經過濾器或活性碳吸附去除粉塵及碳氫化合物以供給至無塵室內使用。但外在環境空氣中或是空壓機運作時往往會 ...

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Entegris
Entegris

https://www.macroltd.com.tw

... 氣體淨化解決方案。more · ​Model: Oxygen/CDA Heated Catalyst Purifier - PS15. PS15系列MonoTorr氣體淨化器可用於氧氣和CDA(潔淨乾燥空氣/壓縮乾燥空氣)。​more.

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PurgGardTM
PurgGardTM

https://temtw.com

PurgGardTM-ST Series Purge/ Gas Filter專為半導體設計氣體凈化過濾,使用XCDA 進行凈化和氣體過濾應用,CDA、N2 和/或惰性氣體,高純度內部製造的性能PTFE 膜,316L 電 ...

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PX—XCDA纯化器
PX—XCDA纯化器

http://www.hpcdl.com

PX—XCDA纯化器. 左右滑动查看完整表格. 纯化系列. 脱除杂质ppb. 气体. 型号. 纯化工艺. H2O. CO2. 挥发性酸VA. 挥发性碱VB. 耐熔化合物RC. 总有机碳TOC. XCDA. PX. 吸附( ...

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Teesing 著重於KMWE無塵室中特殊氣體的連接
Teesing 著重於KMWE無塵室中特殊氣體的連接

https://www.teesing.com

KMWE設置了全新的模組化無塵室(ISO 6 及ISO 5 等級) 。Teesing則提供解決方案,讓氮氣、超潔淨乾空氣(XCDA)、氦氣及R14 等氣體在無塵室中能靈活使用。

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先進製程晶圓氣體充填系統
先進製程晶圓氣體充填系統

https://www.synergy-tech.com.t

這時建議導入晶圓氣體充填系統,充填N2或XCDA技術,用可變流量的控制方式,將晶舟盒(FOUP)內濕度降至最低,同時降低AMC與Particle,更有效控制產品Q-Time。 查找您當地 ...

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晶圆传送容器的净化
晶圆传送容器的净化

https://patents.google.com

净化气体的类型包括空气(例如XCDA)、氧气、氮气、水汽、惰性气体和这些气体的混合物。 净化气体中污染物的浓度级别影响本发明的实施例有效净化传送容器以允许与密封室连接 ...

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晶圓盒濕度控制之實驗研究
晶圓盒濕度控制之實驗研究

https://www.airitilibrary.com

... (CDA)充填 ; 液晶聚合物(LCP) ; 聚碳酸酯(PC) ; Front Opening Unified Pod ... 氣體較難以到達的區域。另一方面,設定較低的CDA充填量,以每分鐘15~105公升(LPM) ...

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用戶端的可行作為
用戶端的可行作為

https://emis.itri.org.tw

... 氣體,需要有XCDA CQC (Continuous Quality. Page 10. - 10 -. Control)連續品質控制監測分析儀器系統,藉由此品質監測分析系統. 即可24 小時不間斷的監測XCDA 供應品質。