半導體銅污染：半導體業污染防治與管理─ 台積公司為例
半導體業污染防治與管理─ 台積公司為例
半導體業不能說的秘密：那些連專家都沒聽過的毒物
http://bulletin.dyu.edu.tw
從環保團體綠色公民行動聯盟資料庫來看，半導體廠造成的環境污染囊括空污、水污、噪音、廢棄物與毒化物，其中又以半導體封裝測試業佔大宗。以曾多次違規遭 ...
半導體的水資源污染，電鍍、蝕刻後的製程廢水該怎麼處理?
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... 銅、鎳等金屬，在去年受到全球供應鏈，由於半導體、電動車、再生能源等發展，都需要利用到銅來做導電性原料，且很難被其他金屬取代，因此金屬銅的需求 ...
半導體製造、晶圓環境、品質控制的化學分析
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製造環境引起的晶圓污染 · 藉由ICP-MS 分析製程所用化學品和試劑中的超微量金屬 · 離子層析法（IC）在半導體化學分析中的作用 · 藉由液相層析法（LC）分析銅電鍍液中的添加劑 ...
抓出半導體製程中的魔鬼－晶圓表面汙染
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晶圓表面的潔淨度對於後續半導體製程以及產品良率會造成一定程度的影響，最常見的主要污染包括金屬、有機物及顆粒狀粒子的殘留，而污染分析的結果可用 ...
晶圓廠空氣中氣態分子污染物之採樣及分析
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隨著半導體導線線徑的縮減，氣態分子污染物(AMC) 的管制及監控方式也益受重視。本文. 將介紹氣態分子污染物的定義、對半導體廠可能的影響、其可能來源及檢測時機，及對其常.
無塵室對環境的要求很嚴謹，從靜電防治到銅製成產生的污染
https://en.mcut.edu.tw
銅製成產生的污染，以及所有機台介面傳輸 ... 利用SWAB 檢測，來測量無塵室的物品是否銅離子濃度超標，這個檢測. 是利用不織布棉花棒去檢測銅離子濃度，檢測無塵室內的物品， ...
臭氧改質AmberliteXAD
https://ndltd.ncl.edu.tw
在半導體製程中,銅污染一直是個不好解決的問題,怎樣有效處理銅污染便是一個重要的課題,本實驗是將AmberliteXAD-4樹脂用臭氧加以改質使之能吸附水中的銅離子以期能減少 ...
迎半導體進駐銅科環差過關有毒氣體排放量增六倍居民憂 ...
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為引進力積電等半導體產業，銅鑼科學園區（簡稱銅科）今年提出環差，將增加土方外運量、氫氟酸等有毒氣體及廢污水排放，今（22）日環評大會中正式通過 ...
銅導線製程技術銅製程。
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雖然銅製程的優點多，但因銅是活潑金屬，很容易散到矽裡，或是污染無塵室，因此在製造上較麻煩，要更加小心。 相關字. 導線架 · 銅 ...