電漿式local scrubber：晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備
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利用電漿來分解空氣污染物有下列優點: 1.去除效率高：較一般的焚化或觸媒反應法的反應性皆高，可使不易活化的反應快速進行。 2.節省能源：電漿在低氣體溫度即可產生，而電 ...
新型半導體全氟化物廢氣電漿處理技術
https://www.tiri.narl.org.tw
橫置式. 電漿反應室機台可專門用於處理PFC 廢氣，因它. 對CF4 有較佳處理功效。而直立式電漿反應室機台. 則可用於處理C2F6 及SiH4，它較不怕SiO2 粉塵堵. 塞問題。
東服企業股份有限公司
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最新商品 · 電漿水洗式廢氣處理機 · 電漿式廢氣處理機 · ML-606WG · CQ122 ...
棨揚企業有限公司
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電漿式水洗式-處理高流量N2O 氣體並有效減少副產物Nox , 低於排放標準. 工藝流程 ... CMS 中央監控系統- Local Scrubber 機台用. 保護環境是我們每個人的責任. 機台類型 ...
產品一覽
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熱源採用最適合節能的電熱式。 加熱器式 · 電漿式 · 混合式 · 其他. 除臭・VOC處理設備. 含有VOC（有機溶劑）的各種排氣，從小風量到大風量， 我們提供最適合貴公司生產線 ...
穩懋半導體製程機台Local Scrubber 改採電漿式計畫書
https://ghgregistry.moenv.gov.
本專案以電漿式尾氣處理器更換取代電熱式尾氣處理器，將可有效降低化學氣相沉. 積製程之氟化氣體排放量。參採行政院環境保護署規範，本專案適用之減量方法為：. 「TM-002 ...
空氣汙染防制
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氣，增設高效率現址式空氣處理設備（Local. Scrubber），經由電熱水洗式、燃燒水洗式、. 電漿水洗式等特殊設備有效處理剩餘製程廢. 氣，最後再將含微量無機酸鹼之廢氣送至 ...
第三章製程尾氣處理研究實驗設備
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本文研究對象為電熱水洗式Local Scrubber，利用高溫750℃加熱裂解. CVD、Dyr Etch 製程所產生的氣體，再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣，經. 水霧吸收、洗滌及降低溫度後以 ...