光阻塗佈機:光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務
光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務
【為台灣加油打氣專欄】我國的塗佈機技術
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光阻塗佈是半導體製程中一個非常重要的步驟,我們經常要在晶圓上塗佈一層光阻劑,其厚度最薄可能是100奈米(1奈米=十億分之一米),最厚可能是50微米(1 ...
光阻劑
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底漆層蒸氣塗佈. 脫水烘烤. 晶圓. 預備處理反應室. 底漆層. 預烘烤及底漆層蒸氣塗佈. 晶圓. 加熱平板. 加熱平板. HMDS 蒸氣. 16. 光阻旋轉塗佈機. 真空. 光阻. EBR. 晶圓.
光阻塗佈機(Photo Resist Spinner)
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光阻塗佈機(Photo Resist Spinner) · 1.廠牌型號: Synrex 擎邦1-PM101D-R790 · 2.購置年限: 1992年12月16日 · 3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓120實驗室 (TEL:55609).
光阻塗佈機(Spin Coater)
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旋轉塗佈法(Spin Coating)是最廣為用來上光阻的方法,通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心,在藉由不同階段的轉速和時間控制,使阻劑均勻塗佈在晶圓 ...
光阻涂布
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本公司之各类涂布机适合不同需求之黄光制程包含:触控可程式光阻涂布机(桌上型)、两段式旋转涂布机(桌上型)、小型两段式旋转涂布机(桌上型)、桌上型伺服涂布机等专业涂布机 ...
半導體製程類設備
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光阻塗佈機/Coater. SVS MSX-1000主要是用來作半導體黃光製程的光阻塗佈。Spin Coating是最廣為用來上光阻的方法,通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心,在藉由不同 ...
旋轉塗佈技術簡介
http://synrex.com
8吋基板光阻塗佈用. For 8in wafer PR coating. Page 20. 落地型單頭式塗佈機系列. FLOOR-STANDING SINGLE BOWL SPIN COATER SERIES. 285x305mm玻璃基板光阻塗佈用. For ...