local scrubber半導體:工學院產業安全與防災學程
工學院產業安全與防災學程
LOCAL SCRUBBER DRE
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光電、半導體廠內使用大量及多種特殊、危害性氣體做為製程氣體,其氣體經過製程反應後俗稱為尾氣。工廠所排放的尾氣通常會先選擇適當的Local Scrubber 進行預先處理, ...
Local Scrubber 濕式洗滌設備
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Htc日揚真空提供微氣泡水洗式廢氣處理設備(μ-Bubble Wet Scrubber) 銷售與保養服務,以高標準、高品質的產品與標準維修保養程序管理,為先進半導體製程等高科技產業 ...
半導體區域洗滌塔水回收系統規劃設計與工程發包之研究
https://ir.nctu.edu.tw
... 半導體廠設置製程尾氣處理系統。早期6吋、8吋晶圓廠因製程較小相對用水量不多Local Scrubber排水直接排入廢水廠氟系廢水處理既可。但近年來科技日益發達,12吋晶圓廠 ...
半導體廠局部尾氣處理設備危害與風險評估
https://ndltd.ncl.edu.tw
半導體廠局部尾氣處理設備危害與風險評估. 論文名稱(外文):, Hazard Analysis and Risk Assessment of Local Scrubber of the Semiconductor Industry. 指導教授: 于樹偉.
專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
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DAS達思系統的水洗式Scrubber主要應用於半導體產業,其為使用端(Point-of-Use, POU)的水洗廢氣處理系統。特點是在緊連接在真空幫浦之後,可預防客戶廠房廢氣系統受物質汙染 ...
晶圆厂制程尾气处理设备Local Scrubber设置目的和作用
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半导体晶圆厂在晶圆制造制程中使用到的化学物质种类繁多,所用到的原物料或副产物含有多种有害性气体,在制程后出现残留成为废气,尾气处理设备(Local ...
穩懋半導體製程機台Local Scrubber 改採電漿式計畫書
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本專案以電漿式尾氣處理器更換取代電熱式尾氣處理器,將可有效降低化學氣相沉. 積製程之氟化氣體排放量。參採行政院環境保護署規範,本專案適用之減量方法為:. 「TM-002 ...
竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問???
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local scrubber 種類有吸附式.電熱式.水塔式.還有燃燒式.其實都會對應樓上主機台來找出最適合的. 原理其實都不難. 實際保養要注意與樓上機台的溝通及by ...
第三章製程尾氣處理研究實驗設備
https://ir.nctu.edu.tw
本文研究對象為電熱水洗式Local Scrubber,利用高溫750℃加熱裂解. CVD、Dyr Etch 製程所產生的氣體,再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣,經. 水霧吸收、洗滌及降低溫度後以 ...