load port功能：LoadPort 晶圓載具平台

1. 機台功能簡介

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從一個FABS (Load port)由機械手臂抓取晶圓至暫放區，另一隻機械. 手臂將晶圓正面翻至背面送到Mirra 研磨區HCLU (Head-Cup-Load-Unload)，由. Head 吸取晶圓後移至研磨轉盤 ...

300mm晶圓載入機、傳送盒技術

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... 功能，同時提供晶圓高潔淨度之置放環境，以確保製程中之晶圓不受微塵粒子污染。 Abstract. In 300 mm Semiconductor manufacturing fabs., Load port and FOUP are ...

HIWIN 晶圓裝卸機Load Port HLP系列

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HIWIN晶圓裝卸機Load Port HLP系列可共用8吋與12吋產品載入載出，能直接對應8吋與12吋FOUP/FOSB，亦可選配8吋open cassette、12吋metal carrier的載具對接平台。 關鍵零 ...

Load Port

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N2 Purge Load Port: 次世代半導體需要高潔淨度，當開關內扉時採用非接觸密封結構可抑制Foup內部微塵或使用N2 功能來抑制晶片汙染。 Frame Wafer Load Port Frame ...

晶圆装载口（Load Port）

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1、FOUP内晶圆片检测，可检测出叠片、斜片、缺片等； · 2、可加增FOUP内高纯氮气进排吹扫，即N2 Purge功能； · 3、可选RFID读取器和Mapping sensor； · 4、可加增Optical I/O ...

晶圓基板Load

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Load Port 對應晶圓厚度膜厚量測設備。 可配合客戶需求進行選擇的產品量測項目(半導體Device量測・基板厚度量測・貼合晶圓量測)

樂華科技Reticle Loadport光罩承載機

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樂華科技晶圓搬運設備市占率逾9成

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... 功能，將晶圓存放環境有效維持溼度、含氧濃度且防止微塵汙染，實現高效益 ... 另一個亮點是「光罩loadport機台」（RETICLE BOX LOAD PORT），全新設計 ...

高階製程微汙染防治傳載系統

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改造原有之300mm Loadport 盤面，加裝N2/XCDA充氣淨化功能。 · 支持各類型FOUP，可根據不同載具設計Loadport盤面。 · 系統獨立，本體安置於Loadport下方，不佔無塵室空間。