燃燒式 Local Scrubber:第三章製程尾氣處理研究實驗設備

第三章製程尾氣處理研究實驗設備

第三章製程尾氣處理研究實驗設備

由吳麗霞著作·2005—台灣所使用之LocalScrubber約有十幾種廠牌型號,而依其原理大概可.分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等,端視使用者的需求而.。其他文章還包含有:「BurnWet燃燒水洗式scrubber」、「IPILocalScrubber臺禹旭禹製程廢氣處理設備」、「區域洗滌設備異常事件失誤模式探討」、「專為高科技產業所提供的廢氣處理系統」、「晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書」、「水洗電熱水洗式廢...

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BurnWet 燃燒水洗式scrubber
BurnWet 燃燒水洗式scrubber

https://www.das-ee.com

Gas Scrubber (燃燒/水洗)提供高彈性與客製化應用,可處理幾乎所有製程廢氣,版圖涵蓋半導體與太陽能產業,廠務需求並可視需求調整。 更多資訊 ...

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IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備
IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備

https://www.ipi-tbc.com.tw

燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統,它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程,將製程所產生的廢氣,經由反應室二階段的高溫燃燒, 反應成粉末 ...

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區域洗滌設備異常事件失誤模式探討
區域洗滌設備異常事件失誤模式探討

https://ir.nctu.edu.tw

燃燒式區域洗滌設備(Local scrubber)應必需要具備安全連鎖設計,如壓力過高之. 連動功能。且應使用即使設備失效也能安全(Fail Safe)的安全連鎖裝置。當安全連鎖作動. 時 ...

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專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
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https://www.das-ee.com

高溫分解 ... 製程廢氣將於系統中的分解區燃燒(可視需求添加燃氣)。依廢氣不同的組成,在燃燒時會產生不同的反應,例如氧化作用、還原反應或高溫分解。

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晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書

https://ghgregistry.moenv.gov.

執行本專案所購置之燃燒式尾氣處理設備(Local Scrubber, LS)及儀控設備安裝、. 管線施工及維護操作費用等,全數由本公司自行負擔,並無接受任何政府計畫之資. 金援助 ...

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水洗電熱水洗式廢氣處理機
水洗電熱水洗式廢氣處理機

http://www.osc-tw.com

最新款電熱水洗式廢氣處理機為高端半導體製程廢氣的處理系統,有高溫電熱式腔体,將製程所產生的廢氣,利用特殊設計的一個反應室,反應成粉末或是反應成溶解於水中的 ...

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燃燒水洗式廢氣處理機
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http://www.osc-tw.com

燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統,它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程,將製程所產生的廢氣,經由反應室二階段的高溫燃燒, 反應成 ...