VMB：VMB与VMP详细介绍及注意事项
VMB与VMP详细介绍及注意事项
氣體面板／閥門分配箱（VMBVMP）
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某一台供給設備發生氣體洩漏時，可切斷氣體洩漏所對應的VMB端口。供氣源的氣櫃在無需切斷下，可對其他裝置持續地供給，使氣體洩漏限於最小範圍內。
特氣分流閥箱盤
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VMB 一般設置在無塵室內，將由氣瓶櫃或大流量氣體分流箱，供給來的半導體材料氣體，加以分岐後，供應給制程裝置機台。另外，在VMB 上也裝設了有 N2 Purge Line 使更換元件 ...
VMBVMPVDB設計製造
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氣瓶櫃Gas Cabinet & 大型供應系統BSGS · 1. 控制器：西門子SIEMENS ET200S PLC、Ethernet通訊接口 · 2. 人機介面：10.4” TFT彩色Fuji(Hakko) V810系列觸控螢幕 · 3. 輸入 ...
Gas VMB VMP
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設備特色：. Compact Design; All Components are Standard, Commercially-available; Various Stick Designs Available. 設備規格. 4 stick VMB; 8 stick VMB ...
氣體閥箱VMB
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氣體閥箱特色 · 客製化程式設計Customized program · 參數可依據使用者需求開放調整Adjustable parameter · ISO 9001認證、SEMI S2認證、TS安全標示與驗證合格標章ISO 9001 ...
VMBVMP
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VMB / VMP. 右圖為大甲永和為客戶所製作之2 Stick型VMB。具有三組獨立壓力傳送器，可監控氣源以及兩組製程管路壓力狀態。 所有管閥件皆採用EP等級316L不銹鋼，管件皆於無塵 ...
Valve Manifold BoxPanal (VMBP)
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VMB is a device that distributes special gases safely and stably to semiconductor production equipment. The gas in the box is always kept at a negative pressure ...
Valve manifold boxpanel (VMBVMP)
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1.In case of expanding or reducing the supply destination, VMB is able to conduct the piping expanding construction and removable operation at the 2nd side.