local scrubber中文:半導體廠局部尾氣處理設備危害與風險評估
半導體廠局部尾氣處理設備危害與風險評估
Local Scrubber
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Local Scrubber · 原理. 利用填充物所產生的巨大接觸面積,氣體與藥液充分密切接觸,產生化學中和作用,使空氣達到洗淨效果。 · 特色. ◎處理效率高 · 適用範圍. ◎各種有害 ...
Local Scrubber 濕式洗滌設備
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Local Scrubber 濕式洗滌設備-吸附式尾氣處理設備 · 1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子,微粒子捕捉效率>90%,傳統灑水式<10% · 2. 吸入口負壓值高(-11~- ...
區域洗滌設備異常事件失誤模式探討
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此類型Local. Scrubber 可去除水溶性不高的氣體、毒性氣體、PFC 等廢氣,其方式有常溫操作及高. 溫觸媒反應吸附,主要應用於尾氣量較少的製程(如Implantation 及Dry ...
專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
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達思系統致力為全球高科技產業研發並生產客製化的廢氣處理系統設備(DAS local scrubbers),能處理有毒、易燃的工業廢氣以及工業粉塵,減少空氣污染問題。
尾氣處理設備去除效率檢測服務LOCAL SCRUBBER DRE ( ...
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中文 · English. 服務範疇. 服務產業. 食品與農業產業 · 消費品及零售產業 · 電子電器產業 · 健康產業 · 營建產業 · 工業產品製造業 · 能源相關產業 · 環境相關產業 · 礦產 ...
某晶圓廠區域洗滌設備異常事件之風險評估與改善對策
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竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問???
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local scrubber 負責處理機台製程剩餘的特殊氣體.特殊氣體包含很多如AS砷.磷.硼.氯.氫氣.還有許多你一輩子在路上都聞不到的易爆 ...
第三章製程尾氣處理研究實驗設備
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本文研究對象為電熱水洗式Local Scrubber,利用高溫750℃加熱裂解. CVD、Dyr Etch 製程所產生的氣體,再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣,經. 水霧吸收、洗滌及降低溫度後以 ...