光罩傳送盒:光罩盒
光罩盒
光罩傳載解決方案
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以子母盒雙層設計,提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,內層EIP可於真空環境下操作。支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
光罩傳輸盒ASYST ASML Pod
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光罩傳輸盒/ 光罩傳送盒/ 光罩自動化傳輸盒/ Reticle SMIF Pod / RSP150,可預防汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。
光罩傳輸盒ASYST NIKON Pod
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光罩傳輸盒/ 光罩傳送盒/ 光罩自動化傳輸盒/ Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化機台。
光罩傳送盒 光罩自動化傳輸盒 Reticle SMIF Pod RSP150 ...
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產品名稱:UPPP 光罩自動化傳輸盒. ○ 產品編碼:RSP-UPPP. ○ 產品尺寸: 226.92(L) x 229.8(W) x 91.6(H)mm. ○ 重量:1320g. ○ 容量:1 PCS. ○ 適用光罩:6025光 ...
光罩傳送盒-Reticle SMIF Pod
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光罩傳送盒/ 光罩自動化傳輸盒/ Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。 ... 可搭配 ...
光罩傳送盒RSP150
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產品名稱:CKPP 光罩自動化傳送盒. ○ 產品編碼:RSP-CKPP. ○ 產品尺寸: 214.5(L) x 229.8(W) x 92.5(H)mm. ○ 重量:1188g. ○ 容量:1 PCS. ○ 適用光罩:6025光 ...