local scrubber流程：竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問???

IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備

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處理流程:電熱+熱交換器+冷卻水(可無水處理) Thermal-Wet type scrubber can remove harmful gases from process which through high temperature heating ...

Local Scrubber

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原理. 利用填充物所產生的巨大接觸面積，氣體與藥液充分密切接觸，產生化學中和作用，使空氣達到洗淨效果。 · 特色. ◎處理效率高 · 適用範圍. ◎各種有害氣體，H2S、SO2、HF ...

Local Scrubber 濕式洗滌設備

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1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，傳統灑水式<10% · 2. 吸入口負壓值高(-11~-13Kpa)，水氣混合效率高 · 3. 具自動清洗功能，能延長 ...

區域洗滌設備異常事件失誤模式探討

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區域洗滌設備(Local Scrubber)之範圍針對提供現場設備廢氣處理的裝置，從製程設. 備處理未反應完之可燃性氣體或帶有酸性或毒性氣體，送入Central Scrubber 之前所裝. 置的 ...

專為高科技產業所提供的廢氣處理系統

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透過ESCAPE機台，廢氣在被引入環狀的燃燒器後會依廢氣不同的化學組成產生不同反應，諸如氧化作用、還原反應或高温分解，因此燃燒所產生的水溶性氣態和固態化合物，會在一 ...

工學院產業安全與防災學程

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方法與流程，將Scrubber Parts 造成氣體洩漏問題與改善方案，製作成HazOp ... (一)由於CDO 類型的Local Scrubber 內含有濕式洗滌塔，故經過CDO 處理. 後 ...

標竿案例

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第三章製程尾氣處理研究實驗設備

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本文研究對象為電熱水洗式Local Scrubber，利用高溫750℃加熱裂解. CVD、Dyr Etch 製程所產生的氣體，再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣，經. 水霧吸收、洗滌及降低溫度後以 ...

第二章研究方法與流程2.1 製程最佳化參數調整研究

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位於製程尾氣處理設備Local Scrubber. 前、後端的FTIRs 分別利用ㄧ台抽氣馬達將製程尾氣引進FTIR 的氣體腔(Gas cell)，經紅外光照射後，尾氣再排至同類製程之製程尾氣處理 ...