euv duv是什麼:极紫外光刻
极紫外光刻
ASML
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我們的DUV深紫外光微影系統是當前半導體產業用於量產晶片的主力。ASML提供浸潤式和乾式微影解決方案,幫助晶片製造商量產各種節點和技術製程。 ASML的浸潤式 ...
DUV和EUV光刻机的区别在哪?
https://m.zhitongcaijing.com
... EUV光刻机的实际控制方是美国而非荷兰。 DUV已经能满足绝大多数需求:覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm,但最先进DUV的 ...
DUV和EUV光刻机的区别在哪?
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所以,ASML的EUV光刻机的实际控制方是美国而非荷兰。 DUV已经能满足绝大多数需求:覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源 ...
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
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所謂的多重曝光技術,即是讓原本的電路圖,從一個光罩拆解成多個光罩,經過多次曝光,畫出更精細的結構。DUV 浸潤式微影技術可以做到的光學解析度,極限 ...
台積電不能沒有它!艾司摩爾崛起的秘密
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小辭典》什麼是DUV設備?
https://ec.ltn.com.tw
微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片,又稱蝕刻機、光刻機;波長不同效率差很大。最早是使用汞燈產生的紫外光源,再來是深紫外光源(Deep ...
小辭典》什麼是DUV設備?
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微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片,又稱蝕刻機、光刻機;波長不同效率差很大。最早是使用汞燈產生的紫外光源,再來是深紫外光源(Deep ...
日本荷蘭限制對華晶片技術出口,光刻機巨頭進一步面臨兩難
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作為製造半導體晶片的關鍵設備,光刻機一般分為三種,即最早的UV(紫外線光刻機),和後來的DUV(深紫外線光刻機)以及EUV(極紫外線光刻機),其中EUV用 ...
極紫外光微影製程
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極紫外光微影(英語:extreme ultraviolet lithography,中國大陸稱為極紫外光刻,簡稱「EUV」或「EUVL」)又稱作超紫外線平版印刷術, 是一種使用極紫外光波長的微影 ...